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CVD管式炉在使用前都有哪些工作需要去准备?

发布时间:2022-07-20 浏览次数:0
CVD管式炉是一款专业在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的专用设备,广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。
cvd管式炉
下面我们来说下cvd管式炉在使用前需要做好的准备工作:ka5管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 1、设计升降温曲线,升温速率不得高于10℃/分钟,降温速率应低于15℃/分钟。ka5管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 2、清扫环境。ka5管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 3、每周开始使用时,检查机械泵油线处于标线以上,拆除两端盖,用吸尘器清洁刚玉炉管。ka5管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 4、将样品舟推入刚与管炉膛中部(恒温长度10cm)。ka5管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 5、塞上两块隔热炉塞,使第二个炉塞的末端与炉体侧面平齐。ka5管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 6、装上气炉法兰,确认密封垫落入槽中。

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