2024-03-28 14:58:45
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大管径PECVD系统
  • 大管径PECVD系统

大管径PECVD系统

型号:KJ-T1200-S200-4ZH-PE
简要描述:    大管径PECVD系统是射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统广泛应用于沉积高质……
详细介绍:
产品介绍:cNC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
    大管径PECVD系统是射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。cNC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
技术参数:
产品名称 大管径PECVD系统(CE认证)
滑轨管式炉部分
产品型号 KJ-T1200-S200-4ZH-PE
炉管尺寸 Φ200mmX1200mm
炉管材质 石英管
加热区 400mm
工作温度 1100℃
最高温度 1200℃
温控方式 K型热电偶
控制方式 触屏控制,可以根据实际使用需求,调节温控屏的角度,使用更方便
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min  ,建议10ºC/min
加热元件 含钼电阻丝
工作电压 AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
法兰接头 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。
壳体 不锈钢壳体
选配 辅助降温风扇
                     真空系统部分
名称 真空系统
主要参数 1.采用高真空分子泵组,极限真空度可达10-3pacNC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;cNC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3.数字式真空显示,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度高高
气路系统部分
名称 四路质量流量计
主要参数 四通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。流量范围流量范围:cNC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1.MFC 1-MFC4:0-1000sccm可调cNC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2.一个混气罐cNC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3.4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体;cNC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
4.进出气口:3进1出cNC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
流量控制:手动旋转式调节cNC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
连接方式:双卡套连接
等离子电源部分
名称 500W等离子电源
功率范围 0-500W(连续可调)
工作频率 13.56MHZ+0.005%
工作模式 连续输出
射频输出阻抗接口 N-type,female(50Ω)
功率稳定度 ≤2W
最大反射功率 70W
电源保护设置 DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护
供电电压/频率 单相交流(187V-253V)50-60HZ
冷却方式 风冷
认证 ISO认证、CE认证
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)
cNC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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