某大学研究实验室的高温炉全由我们科佳提供
发布时间:2021-12-23 浏览次数:0
国内某大学研究实验室的高温炉全由我们科佳提供,现该实验室由我们公司生产的两台CVD设备,一台PECVD设备和多台箱式炉与管式炉.其中最近采购的PECVD系统由滑动管式炉+带质量流量计R 三通道气体混合装置+真空泵装置+一个射频等离子体源组成。 这种PECVD设备适用于需要快速加热和冷却的石墨烯生长工艺和CVD实验。
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