中国一知名大学研究实验室石墨烯CVD系统和PECVD设备
发布时间：2021-08-13 浏览次数：100
下面图中的CVD管式炉是中国一知名大学研究实验室的一位客户的。该客户是2019年采购的CVD管式炉系统，该CVD系统由1200C管式炉+带质量流量计的三通道气体混合单元+真空泵单元组成。
客户于2021年再次采购PECVD系统（等离子化学气相沉积设备）。（PECVD）系统由滑动管式炉+带质量流量计的三通道气体混合装置+真空泵装置+一个 射频等离子体源。 这种PECVD设备适用于需要快速加热和冷却的石墨烯生长工艺和CVD实验。
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