石墨稀、碳纳米管材料CVD设备
型号:KJ-T1050-CVD-LZ
简要描述: 该设备主要用于石墨稀、納米材料工艺涂层、多晶硅、碳化硅、扩散、氧化、退火等工艺。……
详细介绍:
产品介绍：yfA管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳纳米管材料CVD设备由管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ，最高温度可以达到1050度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空最高可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。yfA管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
软件控制系统：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。yfA管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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应用范围：yfA管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
该设备主要用于石墨稀、納米材料工艺涂层、多晶硅、碳化硅、扩散、氧化、退火等工艺。yfA管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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产品参数：yfA管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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产品名称 |
石墨稀、碳纳米管材料CVD设备 |
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产品型号 |
KJ-T1050-CVD-LZ |
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炉型结构 |
卧式、单管或多管系统自动控制 |
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适应晶片尺寸 |
50--200mm |
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取片方式 |
自动悬臂石英推拉舟，配合手动取、放片 |
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最高温度 |
1050℃ |
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极限真空度 |
优于1Pa |
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温度稳定性 |
400℃~850℃≦+-0.5℃/24h |
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抽速 |
抽至极限真空时间15min左右 |
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供电电源 |
380V 50Hz 三相五线 |
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冷却水 |
2~4KGF/c㎡,8L/min |
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更多规格可根据需求定制 |
可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。
- 公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
- 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
- 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
- 公司产品获有欧盟CE质量认证
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