2024-06-21 10:17:47
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1200双温区触摸屏CVD系统
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1200双温区触摸屏CVD系统

型号:KJ-T1200
简要描述:    KJ-T1200 CVD是一种管式炉,配备60mm直径氧化铝管、真空泵和四通道质量流量计+一个浮子流量计气体流动系统。……
详细介绍:
简介: 2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
    KJ-T1200 CVD是一种管式炉,配备60mm直径氧化铝管、真空泵和四通道质量流量计+一个浮子流量计气体流动系统。它可以混合1-4种气体用于CVD或扩散。 2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
技术参数:
模型 KJ-T1200
第一部分:标准件
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管式炉 
展示 LED类型
温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速率 建议:0~10℃/min
温区 300mm + 300mm 双区
加热元件 电阻丝
热电偶 K型
温度控制精度 ±1℃ ()
管尺寸 60 / 52mmx 1000mm (OD/ID x L)
材质:石英管 
温度控制 通过可控硅功率控制进行PID自动控制
加热曲线 30 步可编程
真空法兰 不锈钢真空法兰。2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
法兰的一端有 2 个带倒钩的针阀,装有机械压力表。2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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法兰的另一端有一个带倒钩针阀的 KF25 端口 2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
功率 220V,50 Hz,单相 6KW
真空泵 旋片真空泵 极限真空 10 -3  Torr。2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
管内的真空度约为 10 -1  Torr。2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
(RM温度和空管条件)2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
流量:2.6 L / S2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 (泵照片仅供参考,实际外观取决于最终设计)2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
旋片真空泵将设计成带轮子的推车。带连接附件2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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包括数字真空计2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3.8x10 -5 至 1125 Torr 测量范围2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
耐腐蚀,与气体类型无关
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带液晶触摸屏控制器的定制质量流量计2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
(七星级品牌)2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 
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一个浮子流量计 + 四个精密质量流量计:2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC 精度为:±1.5% FS2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC 1 用于氮气:气体流量范围为 0~100 sccm2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
氢气 MFC 2:气体流量范围为 0~100 sccm2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC 3 用于甲烷:气体流量范围 0~100 sccm2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
氩气 MFC 4: 气体流量范围 0~100 sccm2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
氧气 MFC 5: 气体流量范围 0~100 sccm2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
FFC 1 氩气和氮气混合气体: 气体流量范围 0~100sccm2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 2LO管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
一种气体混合罐(仅适用于 5 MFC)安装在底壳上,5 个不锈钢针阀安装在底壳左侧,用于手动控制 5 种气体混合。
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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