双炉体CVD系统
型号:KJ-T1200-W2
简要描述: 该双炉体CVD系统为定制款，适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。……
详细介绍:
产品介绍：jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
该双炉体CVD系统为定制款，适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品特点：jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1、控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单。jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2、气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权专利设计,提高操作便捷性。jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3、中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命。jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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参数详情：
| 产品型号 |
KJ-T1200-W2 |
| 管式炉部分 |
| 炉体结构 |
双层壳体结构，配有冷风系统自动降温炉壳温度不超过45℃ |
| 炉膛材质 |
日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，材料保温性能好、反射率高、温场均衡 |
| 最高温度 |
1200℃ |
| 使用温度 |
≤1100℃ |
| 升温速度 |
推荐≤10℃/min，最快升温速度20℃/min |
| 炉管材料 |
石英管 |
| 炉管尺寸 |
OD:50mm*ID:44mm* 长1400mmjIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
管子中间部位开15mm，有个堵塞可堵上 |
| 加热区长度 |
200mm+200mm（双炉体） |
| 炉膛开口 |
每个炉膛对应开宽10mm*长80mm的孔，并可封堵 |
| 法兰 |
不锈钢密封法兰，拆卸方便，法兰上装有精密针阀 |
| 温控系统 |
温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制30段升降温程序；jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1、采用PID方式调节控温，可设置30段升降温程序jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2、控温精度±1ºC jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3、具有过温保护、断偶保护jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
4、仪表具有温度自整定的功能 |
| 加热元件 |
合金电阻丝 |
| 测温元件 |
2支K型热电偶分别独立控温 |
| 工作电源 |
AC220V，50Hz |
| 额定功率 |
4KW |
| 进出气口 |
法兰上含有进出气口和精密针阀 |
| 气路系统部分 |
| 质量流量计 |
二路精密质量流量计：数字显示、气体流量自动控制。jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC1 N2 范围: 0-1000 sccmjIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC2 CO2范围: 0-1000 sccmjIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
气路:2路jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
流量精度: 0.2%jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
进气和出气接口: 1/4" 卡套jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。jIm管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。 |
| 标准配置 |
主机1台，流量计1套、密封法兰1对，石英管1支，密封圈4个，炉堵2个，坩埚钩1把，高温手套1副、拆卸扳手2把、说明书1份、合格证保修卡1份 |
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可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。
- 公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
- 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
- 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
- 公司产品获有欧盟CE质量认证
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