2024-06-13 14:04:20
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三温区CVD设备
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三温区CVD设备

型号:KJ-OTF-1700-F5
简要描述:    此款三温区CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。……
详细介绍:
产品特点:beC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1、 控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。beC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2、 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵beC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。beC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 beC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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产品用途:beC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
此款三温区CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。beC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 beC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品详情:
名称 高温三温区CVD设备
型号 KJ-OTF-1700-F5
加热系统 显示 LED
最高温度 1700℃
工作温度 ≤1600℃
升温速率 0~15℃/min
温区 3
温区长度 220mm
加热元件 MoSi2 棒
热电偶 B型
控温精度 ±1℃
管尺寸 80 x 1400mm
材质:氧化铝
温度控制 PID自动控制
温控方式 30段可编程
真空计 复合真空计
真空法兰 带阀门和针头的不锈钢真空法兰
电压/功率 220V, 50 Hz, 10KW
真空泵系统 真空泵组beC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
(旋片泵+扩散泵)beC管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
包括 KF25、KF50 适配器、真空泵组波纹管和带轮移动柜。
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冷态极限真空6.67*10-3Pa。
质量流量计(5气路) 流量范围 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
准确性 ±1.5 % F.S.
重复精度 ±1.5 % F.S.
响应时间 ≦10sec
工作压差范围 0.1~0.5MPa
耐压性 3MPa
温度系数 零: ≤±0.2% F.S./℃; 跨度: ≤±0.2% F.S./℃
工作环境温度 5~45℃
输入信号 0 V ~ +5.00 V
输出信号 0 V ~ +5.00 V
  电插头形式 DB15针(母)
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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