2024-06-13 14:04:20
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3通道CVD设备
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3通道CVD设备

型号:KJ-T1600 -3M
简要描述:    KJ-T1600 CVD 是一种管式炉,具有 80mm 直径的氧化铝管和三通道质量流量计气体流动系统。 它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。……
详细介绍:
产品介绍:Pnv管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
    KJ-T1600 CVD 是一种管式炉,具有 80mm 直径的氧化铝管和三通道质量流量计气体流动系统。 它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。Pnv管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 Pnv管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
技术参数:
产品名称 3通道CVD设备
型号 KJ-T1600 -3M
管式炉部分 显示 液晶触摸屏
最高温度 1600℃
工作温度 ≤1500℃
升温速率 0~10℃/min
温区 300mm
加热元件 MoSi2
热电偶 B型
温度控制精度 ±1℃
炉管尺寸 80x1000mm
材质:氧化铝管Pnv管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 
塞砖 包括两个纤维陶瓷块,用于阻挡来自管内的热辐射(陶瓷块必须在加热前完全插入炉腔)。Pnv管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 
温度控制 PID自动控制
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
电源 220V, 50 Hz, 单相最大6KW
质量流量计Pnv管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
(液晶触摸屏)
三台精密质量流量计: MFC 1:气体流量范围0~100 sccm MFC 2:气体流量范围0~200 sccm MFC 3:气体流量范围0~200 sccm (气体流量范围可根据您的要求) 底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装3个不锈钢针阀,手动控制3种气体混合Pnv管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
Pnv管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 
更多参数可按需定制
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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