立式双温区CVD镀膜管式炉-可在流化过程中对物料进行CVD镀膜-热处理更均匀-可通气氛可抽真空-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品介绍：

立式结构，用于镀膜、流化床实验、CVD快速镀膜、气氛和真空状态下的粉末热处理等。立式双温区CVD镀膜管式炉主要由：1200度双温区管式炉、3通道质量流量计供气系统、2L/S抽速真空泵及相关连接件组成；设备下方加装定向轮和万向轮，设备整体占地尺寸小并可灵活移动。该设备适用于CVD工艺，主要用于大学，研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。点击查看更多CVD电炉！

立式双温区CVD镀膜管式炉实拍图

产品特点：

1.多段智能PID程序控温:控温系统采用PID方式调节，多段"时间—温度曲线"任意可设，可编程30步。
2.立式可开启结构:双层壳体立式可开启结构，取放炉管方便，装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内。
3.优良的动密封系统:不锈钢金属法兰，带阀门和相关接口，拆装方便，可抽真空，同时连接3种气源至微正压。

产品参数：

设备名称	立式CVD系统
设备型号	KJ-TCVD1100-S40CK2
流化床管式炉部分
最高温度	1200 ℃
工作温度	≤1100℃
显示	LCD触摸屏
管径	外径40mm*长度1100mm（其他尺寸可按客户需求定制）
管材	高纯石英管
加热元件	优质电阻丝
加热速率	0~10℃/min
温度控制	•多段"时间—温度曲线"任意可设，可编程30步 •触屏多段智能PID程序控温，烧结数据可记录并以excel形式导出 •内置超温和热电偶故障保护
热电偶	N型热电偶测温
密封方式	定制不锈钢真空法兰一套含密封
炉膛	双层钢制外壳，带双冷却风扇，双温区立式开启结构，取放炉管方便炉膛材质为氧化铝耐火纤维，保温节能
真空法兰	带阀门的不锈钢真空法兰
供气系统：3路质量流量控制系统
气体通道	可同时连接3种气源至微正压
流量计	质量流量计（可选其他量程）
气路压力	-0.1～0.15 MPa
截止阀	不锈钢材质
气路连接管	1/4不锈钢管
真空泵+真空计系统
真空泵	真空泵配硅胶软管可快速置换炉管内气体

立式双温区CVD镀膜管式炉实拍

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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