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RTP快速退火炉
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RTP快速退火炉

型号:KJ-T1200RTP
简要描述:    此款RTP红外灯管加热管式炉可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。……
详细介绍:
产品介绍:
    RTP红外灯管加热管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉,配有石英腔体和真空法兰,采用红外灯管加热,升温速度可达50℃/秒,30段可编程序,PID自动控制,它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。
 
应用领域:
    可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
 
技术参数:

RTP快速退火炉
型号 KJ-T1200RTP
最高温度 1000℃
工作温度 900℃
炉管材质 石英管单头
石英管 Φ50/Φ60/Φ80/Φ100/Φ120/Φ150mm  可选
温区长度 200/30/400mm  可选
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
加热元件 红外灯管
供电电源 220V/380V      50/60HZ
升温速率 0-50℃/S
热电偶 K型
密封方式 不锈钢密封法兰
炉膛结构 开启式
滑动方式 左右滑动/不滑动可选
更多规格可按照需求定制
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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