RTP化学气相沉积系统
型号:KJ-RTP-DZ
简要描述: 该定制RTP化学气相沉积系统是一款RTP (快速热处理) 管式炉、二通道质量流量计系统及真空系统组成，专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达3"）退火而设计。 这款设备是采用红外……
详细介绍:
产品介绍：Ekb管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
该定制RTP化学气相沉积系统是一款RTP (快速热处理) 管式炉、二通道质量流量计系统及真空系统组成，专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达3"）退火而设计。 这款设备是采用红外灯加热，最快升温速度是50℃/秒。 30 段准确温度控制，RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。Ekb管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
Ekb管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
技术参数：Ekb管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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产品名称 |
RTP化学气相沉积系统 |
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型号 |
KJ-RTP-DZ |
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第一部分： 管式炉 |
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产品名称 |
开启式上下温区RTP管式炉 |
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温度 |
最高1000度 |
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控 制 器 |
LCD触摸屏 |
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炉管尺寸 |
石英管 外径80mm/内径72mm 单侧开口 |
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加热区 |
300mm |
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炉型 |
开启式 |
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供电电源 |
电压：380V； 频率:50 hz；三相 |
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加热元件 |
卤素灯加热 |
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升温速率 |
30 C/秒 |
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热 电 偶 |
K 型热电偶测物料处温度 |
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温度控制器 |
30段高精度数字可编程温度控制器 |
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第二部分 混气系统 |
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量程 |
MFC1：氧气（O2）0-200sccmEkb管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC2：氩气（Ar）0-200sccm |
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第三部分 真空系统 |
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1L/S +粉尘过滤器配套防腐数显真空计 |
可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。
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- 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
- 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
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