2024-06-21 10:17:46
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RTP化学气相沉积系统
  • RTP化学气相沉积系统

RTP化学气相沉积系统

型号:KJ-RTP-DZ
简要描述:    该定制RTP化学气相沉积系统是一款RTP (快速热处理) 管式炉、二通道质量流量计系统及真空系统组成,专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达3")退火而设计。 这款设备是采用红外……
详细介绍:
产品介绍:rZf管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
    该定制RTP化学气相沉积系统是一款RTP (快速热处理) 管式炉、二通道质量流量计系统及真空系统组成,专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达3")退火而设计。 这款设备是采用红外灯加热,最快升温速度是50℃/秒。 30 段准确温度控制,RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。rZf管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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技术参数:
rZf管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品名称 RTP化学气相沉积系统
型号 KJ-RTP-DZ
第一部分: 管式炉
产品名称 开启式上下温区RTP管式炉  
温度 最高1000度
控 制 器 LCD触摸屏
炉管尺寸 石英管 外径80mm/内径72mm 单侧开口  
加热区 300mm  
炉型 开启式
供电电源 电压:380V; 频率:50 hz;三相
加热元件 卤素灯加热  
升温速率 30 C/秒
热 电 偶 K  型热电偶测物料处温度
温度控制器 30段高精度数字可编程温度控制器
第二部分  混气系统
量程 MFC1:氧气(O2)0-200sccmrZf管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC2:氩气(Ar)0-200sccm
第三部分 真空系统
  1L/S  +粉尘过滤器配套防腐数显真空计
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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