RTP快速退火炉
型号:KJ-T1200RTP
简要描述: 此款RTP红外灯管加热管式炉可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。……
详细介绍:
产品介绍:6Ka管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
RTP红外灯管加热管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉,配有石英腔体和真空法兰,采用红外灯管加热,升温速度可达50℃/秒,30段可编程序,PID自动控制,它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。6Ka管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
6Ka管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
应用领域:6Ka管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。6Ka管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
6Ka管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
技术参数:6Ka管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
RTP快速退火炉 |
型号 |
KJ-T1200RTP |
最高温度 |
1000℃ |
工作温度 |
900℃ |
炉管材质 |
石英管单头 |
石英管 |
Φ50/Φ60/Φ80/Φ100/Φ120/Φ150mm 可选 |
温区长度 |
200/30/400mm 可选 |
炉膛材料 |
氧化铝多晶纤维 |
加热元件 |
红外灯管 |
供电电源 |
220V/380V 50/60HZ |
升温速率 |
0-50℃/S |
热电偶 |
K型 |
密封方式 |
不锈钢密封法兰 |
炉膛结构 |
开启式 |
滑动方式 |
左右滑动/不滑动可选 |
更多规格可按照需求定制 |
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
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