cvd炉炉膛温度和显示温度不一致怎么办？

发布时间：2024-08-07 浏览次数：0

CVD炉作为镀膜设备，广泛应用于半导体等行业，那么在使用过程中出现炉膛温度和现实温度不一致的情况，是什么原因造成的呢？该如何解决呢？下面就来看看吧！

一、排查原因
温度传感器问题：
检查温度传感器是否损坏或老化，导致测量不准确。
检查温度传感器的安装位置是否正确，是否处于炉膛温度均匀分布的区域。

控制系统问题：
检查控制系统是否正常运行，是否存在软件故障或参数设置错误。
检查控制系统的PID参数设置是否合理，PID参数设置不当可能导致温度控制不准确。

炉膛环境问题：
检查炉膛内是否有杂物或积碳，这些都会影响炉膛内的热传导和温度分布。
检查炉膛的密封性是否良好，密封不良可能导致热量散失，影响炉膛温度。

外部因素：
检查外部环境温度是否对炉膛温度产生影响，如环境温度过高或过低都可能影响炉膛温度的控制。
检查电源电压是否稳定，电压波动也可能影响温度控制的准确性。

带滑道的CVD炉(点击图片查看产品详情)

二、解决方案
更换或校准温度传感器：
如果发现温度传感器损坏或老化，应及时更换新的传感器。
对新传感器进行校准，确保其测量准确。

调整控制系统参数：
根据实际情况调整控制系统的PID参数，以获得更好的温度控制效果。
检查并修正控制系统的软件设置，确保参数设置正确无误。

清理炉膛环境：
定期清理炉膛内的杂物和积碳，保持炉膛内环境清洁。
检查并修复炉膛的密封性，防止热量散失。

改善外部环境：
如果外部环境温度对炉膛温度产生影响，可以采取相应的措施进行改善，如增加隔热层等。
确保电源电压稳定，必要时可安装稳压器等设备。

使用其他校验方法：
可以采用一些简单的校验方法来判断炉膛温度和显示温度是否一致，如使用已知熔点的物质（如NaOH、无水Na2CO3等）进行校验。具体方法可以参考相关文献或技术资料。