1200双温区触摸屏CVD系统-郑州科佳电炉

详细介绍:

简介：
KJ-T1200 CVD是一种管式炉，配备60mm直径氧化铝管、真空泵和四通道质量流量计+一个浮子流量计气体流动系统。它可以混合1-4种气体用于CVD或扩散。

技术参数：

模型		KJ-T1200
第一部分：标准件
管式炉	展示	LED类型
	温度	1200℃
	工作温度	≤1100℃
	升温速率	建议：0~10℃/min
	温区	300mm + 300mm 双区
	加热元件	电阻丝
	热电偶	K型
	温度控制精度	±1℃ ()
	管尺寸	60 / 52mmx 1000mm (OD/ID x L)
	管尺寸	材质：石英管
	温度控制	通过可控硅功率控制进行PID自动控制
	加热曲线	30 步可编程
	真空法兰	不锈钢真空法兰。法兰的一端有 2 个带倒钩的针阀，装有机械压力表。法兰的另一端有一个带倒钩针阀的 KF25 端口
	功率	220V，50 Hz，单相 6KW
真空泵	旋片真空泵	极限真空 10 ^-3 Torr。管内的真空度约为 10 ^-1 Torr。（RM温度和空管条件）流量：2.6 L / S （泵照片仅供参考，实际外观取决于最终设计）旋片真空泵将设计成带轮子的推车。带连接附件包括数字真空计 3.8x10 ^-5 至 1125 Torr 测量范围耐腐蚀，与气体类型无关
带液晶触摸屏控制器的定制质量流量计（七星级品牌）	一个浮子流量计 + 四个精密质量流量计： MFC 精度为：±1.5% FS MFC 1 用于氮气：气体流量范围为 0~100 sccm 氢气 MFC 2：气体流量范围为 0~100 sccm MFC 3 用于甲烷：气体流量范围 0~100 sccm 氩气 MFC 4：气体流量范围 0~100 sccm 氧气 MFC 5：气体流量范围 0~100 sccm FFC 1 氩气和氮气混合气体：气体流量范围 0~100sccm 一种气体混合罐（仅适用于 5 MFC）安装在底壳上，5 个不锈钢针阀安装在底壳左侧，用于手动控制 5 种气体混合。

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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