高温化学气相沉积系统-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品介绍：
该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃，配备真空泵，气体混合装置。采用优良的温度控制系统，高温精度，出色的气体流量精度，易于操作，出色的隔热效果和温度均匀性。主要用于大学，科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

技术参数：

产品名称		高温化学气相沉积系统
产品型号		KJ-CVD-1700-60*300-F3
加热部分	显示	LED
	最高温度	1700℃
	工作温度	≤1600℃
	升温速率	建议: 0~15℃/min (max. 20℃/min)
	加温温区	300mm
	加热元件	硅钼棒
	热电偶	B 型
	控温精度	±1℃
	炉管尺寸	60 x 900mm
	炉管尺寸	刚玉管
	温度控制	PID自动控制
	升温速率	30段可编程
	电压	220V, 50 Hz, 单相最大功率： 4KW
	最大工作压力	0.02MPa
真空部分	真空泵总成（旋转叶片泵+扩散泵）包括KF25、KF50适配器、用于真空泵组的波纹管和带轮子的移动柜。	冷态极限真空6.67*10-3Pa。
	真空测量	复合真空计。
	真空法兰	带阀和针的不锈钢真空法兰
质量流量计（3条气体路线Ar、H2、CH4）	流量范围	(20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
	准确度	±1.5 % F.S.
	响应时间	≦10sec
	工作压力差范围	0.1~0.5MPa
	耐压性	3MPa
	工作环境温度	5~45℃
	输入电压信号	0 V ~ +5.00 V
	输出电压信号	0 V ~ +5.00 V

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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