双炉体CVD系统
型号:KJ-T1200-W2
简要描述: 该双炉体CVD系统为定制款,适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。……
详细介绍:
产品介绍:pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
该双炉体CVD系统为定制款,适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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产品特点:pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1、控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2、气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权专利设计,提高操作便捷性。pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3、中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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参数详情:
产品型号 |
KJ-T1200-W2 |
管式炉部分 |
炉体结构 |
双层壳体结构,配有冷风系统自动降温炉壳温度不超过45℃ |
炉膛材质 |
日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,材料保温性能好、反射率高、温场均衡 |
最高温度 |
1200℃ |
使用温度 |
≤1100℃ |
升温速度 |
推荐≤10℃/min,最快升温速度20℃/min |
炉管材料 |
石英管 |
炉管尺寸 |
OD:50mm*ID:44mm* 长1400mmpgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 管子中间部位开15mm,有个堵塞可堵上 |
加热区长度 |
200mm+200mm(双炉体) |
炉膛开口 |
每个炉膛对应开宽10mm*长80mm的孔,并可封堵 |
法兰 |
不锈钢密封法兰,拆卸方便,法兰上装有精密针阀 |
温控系统 |
温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序;pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 1、采用PID方式调节控温,可设置30段升降温程序pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 2、控温精度±1ºC pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 3、具有过温保护、断偶保护pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 4、仪表具有温度自整定的功能 |
加热元件 |
合金电阻丝 |
测温元件 |
2支K型热电偶分别独立控温 |
工作电源 |
AC220V,50Hz |
额定功率 |
4KW |
进出气口 |
法兰上含有进出气口和精密针阀 |
气路系统部分 |
质量流量计 |
二路精密质量流量计:数字显示、气体流量自动控制。pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 MFC1 N2 范围: 0-1000 sccmpgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 MFC2 CO2范围: 0-1000 sccmpgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 气路:2路pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 流量精度: 0.2%pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 进气和出气接口: 1/4" 卡套pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。pgH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。 |
标准配置 |
主机1台,流量计1套、密封法兰1对,石英管1支,密封圈4个,炉堵2个,坩埚钩1把,高温手套1副、拆卸扳手2把、说明书1份、合格证保修卡1份 |
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可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
- 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
- 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
- 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
- 公司产品获有欧盟CE质量认证
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