科研型扩散氧化炉-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品特点：
1、可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺
2、采用高可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化；
3、具有友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态；
4、具有多种工艺管路，可供用户方便选择；
5、具有强大的软件功能，配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间；
6、恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度；
7、具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能；
8、可根据用户要求定制产品。

应用范围：
本设备为科研型扩散氧化炉，适用于企业研发、大学及科研院所的科研与教学。可满足多晶硅、氮化硅、扩散、氧化、退火等工艺。

产品参数：

产品名称	科研型扩散氧化炉
产品型号	KJ-T1300-LZ-10KS
工作温度	1300℃
应用晶片尺寸	2~8英寸圆片
可配工艺管数量	1~2管/台
恒温区长度	300~600mm
恒温区精度	≤±0.5℃
温度稳定性	≤±0.5℃/24h
温度斜变能力	最大升温速率10℃/min，最大降温速率5℃/min
预警	具有超温、断偶、热偶短路、工艺气体流量偏差报警和保护功能
更多规格可根据要求来定制

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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