2024-06-13 14:04:21
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低真空CVD系统
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低真空CVD系统

型号:KJ-T1200-S60-CVD
简要描述:    低真空CVD系统,采用双层壳体结构,配有冷风系统自动降温炉壳温度不超过45℃,温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,使用日本技术真空吸附成型的高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,材料保温性能好、反射率高、温场均衡。……
详细介绍:
产品简介:TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
低真空CVD系统,采用双层壳体结构,配有冷风系统自动降温炉壳温度不超过45℃,温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,使用日本技术真空吸附成型的高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,材料保温性能好、反射率高、温场均衡。属于CVD设备的一种。
TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
低真空CVD系统工作温度为300℃至1200℃,配备真空系统,气体混合装置。采用了温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,有非常好的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品用途:TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
低真空CVD系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
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产品优势:TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1 、控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2、 中低真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击真空泵,防止意外漏气造成真空泵损坏,延长系统使用寿命。TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3、 四路精密质量流量计:数字显示、气体流量自动控制。TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
4、 不锈钢密封法兰,拆卸更加方便,法兰上装有可靠针阀。TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品参数:
产品名称 低真空CVD系统
产品型号 KJ-T1200-S60-CVD
管式炉部分
炉体结构 双层壳体结构,配有冷风系统自动降温炉壳温度不超过45℃
炉膛材质 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,材料保温性能好、反射率高、温场均衡
最高温度 1200℃
连续工作温度 1100℃
升温速度 推荐≤10℃/min,最快升温速度20℃/min
炉管材料 高纯石英管
炉管尺寸  OD:60mm* ID:54mm * 长1200mm TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
仪器使用前必须放入管堵,防止热辐射
加热区长度 220+220+220mm
法兰 不锈钢密封法兰,拆卸方便,法兰上装有可靠针阀
温控系统 温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1、采用PID方式调节控温,可设置30段升降温程序TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2、控温精度±1ºC TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3、具有过温保护、断偶保护TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
4、仪表具有温度自整定的功能
加热元件 含钼合金电阻丝
测温元件 K型热电偶
工作电源 AC220V,50/60Hz
额定功率 5KW
进出气口 法兰上含有真空连接口,进出气口
气路系统部分
质量流量计 四路精密质量流量计:数字显示、气体流量自动控制。TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC1 范围:  0-500 sccm(量程可选)TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC2 范围:  0-500 sccm(量程可选)TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC3 范围:  0-500 sccm(量程可选)TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC4 范围:  0-500 sccm(量程可选)TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
气路:4 路TOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
流量精度: 0.2%
真空系统部分
真空泵 1.DRV10旋片泵抽速2L/STOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2.极限真空度:7*10-2TorrTOk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3.数显真空计,实时显示真空度,真空显示范围:1×105--1×10-1pa
标准配置 主机 1 台,流量计 1 套、真空泵 1 套,密封法兰 1 对,石英管 1 支, 密封圈4 个,炉堵 6 个,坩埚钩 1 把,高温手套 1 副、拆卸扳手 1把、说明书 1 份、合格证保修卡 1 份
 

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可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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