2024-06-14 15:11:12
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3温区管式CVD系统
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3温区管式CVD系统

型号:KJ-TCVD1600-L80LB3
简要描述:    3温区管式CVD系统是一个CE认证的三温区管式炉CVD系统。炉管直径为80mm。真空泵采用双旋转机械泵,气体混合系统为4路质量气体混合系统。……
详细介绍:
产品介绍:

KJ-TCVD1600-L80LB3是一个CE认证的三温区管式炉CVD系统。炉管直径为80mm。真空泵采用双旋转机械泵,气体混合系统为4路质量气体混合系统。该炉工作温度可达1600℃,真空度可达10pa。属于CVD系统的一种。N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉

3温区管式CVD系统实拍图N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品优势:

1、发热元件采用优良MoSi2,炉膛采用陶瓷纤维材料,保温性能好,经久耐用,抗拉强度高,无杂志,纯度高,节能效果明显。N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2、超温报警及断电、漏电保护,运行安全可靠。N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3、独立温控器,30级可编程温度。
N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉

N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品参数:
加热系统(管式炉)
最高温度 1700 
工作温度 1600
显示 LED显示屏
管径 80mm(外径)
管材 优质铝管
热区长度 220+220+220mm(每个热区之间会有间隙)
加热元件 MoSi2
加热速率 0-5℃/min
温度控制N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 
● PID自动通过SCR(可控硅整流器)控制功率,相位角触发,限流电阻器。N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
● 30个可编程段,用于控制加热速率、冷却速率和停留时间。N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
● 内置PID自动调节功能,具有过热和热电偶损坏保护功能。N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
● 超温保护和报警,允许在无人值守的情况下操作。
热电偶
  1. 3个热电偶(测量和温度控制功能),位于每个热区的中间(管道外侧)
  2. 1个热电偶(仅测量温度),位于管内。
温控精度 ±1℃
炉膛结构
  1. 双层钢制外壳,带双冷却风扇,炉壳温度低于60℃。
  2. 一体式不可打开炉门。
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
工作电压 220V 50Hz
最大功率 6KW
供气系统
4通道质子流量计: MFC 1:气体流量范围为0~100sccmN25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC 2:控制范围为0~200 sccmN25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC3:控制范围为0-500sccmN25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC4:控制范围为0~200 sccmN25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
一个气体混合罐安装在底部壳体上,带有液体释放阀N25管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
底壳左侧安装4个不锈钢针阀,控制4种气体混合
真空泵+真空计系统
真空泵+真空计 配备旋转叶片泵,使真空度达到10Pa(冷却状态)

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可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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