2024-06-13 14:04:21
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1200℃ CVD化学气相沉积镀膜系统
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1200℃ CVD化学气相沉积镀膜系统

型号:KJ-TCVD1200-S80LK1
简要描述:    1200℃ CVD化学气相沉积镀膜系统工作温度为300℃至1200℃,配备真空泵,气体混合装置。采用了温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,有非常好的隔热效果和温度均匀性。……
详细介绍:
产品介绍:

1200℃ CVD化学气相沉积镀膜系统工作温度为300℃至1200℃,配备真空泵,气体混合装置。采用了温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,有非常好的隔热效果和温度均匀性。更多CVD设备可点击更多查看。2nl管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉

1200度CVD化学气相沉积镀膜系统实拍图2nl管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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产品应用:

1200℃ CVD化学气相沉积镀膜系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。2nl管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉

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产品参数:
产品名称 化学气相沉积系统
产品型号 KJ-TCVD1200-S80LK1
管式炉部分
炉膛模式 开启式
显示模式 LED
炉膛材料 氧化铝耐火纤维
加热元件 合金加热丝
极限温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速率 0-10℃/min
加热温区 单温区
温区长度 440mm
炉管材质 高纯石英
炉管外径 80mm
炉管长度约 1000mm(以实际供货为准)
密封方式 可重复拆装的不锈钢密封法兰。拆装方便,密封性好
控制模式 智能PID控制,具有多段可编程控温和自整定功能
温度曲线 多段"时间—温度曲线"任意可设
报警 有超温和断偶报警
测温元件 K型热电偶
供电电源 220V 50Hz
加热功率约 4KW
供气系统
流 量 计 三路质量流量计(量程可根据需要选择)
A路量程 氮气 0~1000SCCM
B路量程 甲烷 0~500SCCM
C路量程 乙烯 0~1000SCCM
混气 内含一个精密混气罐
供电电源 220V 50HZ
工作环境温度 5℃-45℃
真空系统(含不锈钢波纹管和相关连接配件)
真空泵抽速 2L/S抽速的机械旋片泵、波纹管及相关连接件,极限真空可实现10pa
数显真空计 数显电阻真空计集成在可移动供气系统箱体上
配用规管 电阻规
测量范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa)
测量精度 ±10%
零点漂移 ±2%
测量路数 1路
显示路数 1个窗口
显示方式 五位LED数字显示,采用科学计数法,例:1.2E-1,表示为1.2×10-1Pa
电源 AC/220V/50Hz/15W
整机外形尺寸约 含真空泵,宽1000*深600mm*高1000mm

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可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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