定制流化床CVD系统-郑州科佳电炉

详细介绍:

结构组成：
定制流化床CVD系统，由立式管式炉、供气系统、真空系统、真空测量系统组成。

产品介绍：
该系统以硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，真空泵接口，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。

技术参数：

产品名称	定制流化床CVD系统
产品型号	KJ-CVD-DZ
立式管式炉
炉膛模式	立式开启式
炉膛材料	进口氧化铝耐火纤维
加热元件	优质硅碳棒
极限温度	1400℃
工作温度	≤1300℃
升温速率	≤20℃(建议:15℃/min)
加热温区	单温区、多温区
温区总长度	200、300、440
炉管材质	高纯石英管、刚玉管
炉管直径	40、50、60、80、100mm......
密封方式	304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)
控制模式	多段智能PID程序控温预留通讯接口
控温精度	±1℃
温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件	K型热电偶
气路系统
工作电压	220V/50HZ
最大输出功率	18W
工作温度	5--45℃
气体通道	可同时连接多种气源
流量计	质量流量计
A路量程	0～500SCCM
B路量程	0～500SCCM
C路量程	0～500SCCM
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	1/4不锈钢管
数显真空计及连接件
数显真空计	数显真空计安装在不锈钢法兰上或电控柜上
真空泵组(相关连接配件)
真空泵	真空泵,及相应连接管件 220V/50HZ
认证	ISO认证、CE认证
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）
更多规格可以按照要求来定制

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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