2024-06-13 14:04:19
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立式高温CVD设备
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立式高温CVD设备

型号:KJ-T1500CVD-DZ
简要描述:    该立式高温CVD设备采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,智能控温无需要人看守。炉膛用氧化铝多晶纤维材料。炉管两端采用不锈钢法兰密封,密封法兰上安装有相关进气口及出气口。……
详细介绍:
主要用途:Izq管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
    该定制高温CVD系统主要用于TaC、HfC等物料及其复合碳化物等超高熔点涂层化学气相沉积制备工艺研究。Izq管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
Izq管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品简介:Izq管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
    该系统以有高温沉积室、升华室、供气系统及真空系统组成。采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,智能控温无需要人看守。炉膛用氧化铝多晶纤维材料。炉管两端采用不锈钢法兰密封,密封法兰上安装有相关进气口及出气口。Izq管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
技术参数:
Izq管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品名称 立式高温CVD设备
沉积炉
产品型号 KJ-T1500CVD-DZ
炉膛模式 开启式
炉膛材料 氧化铝耐火纤维
加热元件 U型硅钼棒
极限温度 1600℃高温区     
工作温度 ≤1500℃高温区    
升温速率 ≤10℃/min
加热温区 单温区、双温区、多温区
温区总长度 200、300、400mm
炉管材质 刚玉管
炉管直径 40、50、60、80、100mm
密封方式 定制不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)Izq管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
底部法兰有三个进气口 方便进气Izq管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
底部法兰加支架  方便工件放在沉积炉低温区
控制模式 每个温区单独 30段智能PID程序控温
温度曲线 多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件 B型双铂铑热电偶
供电电源 220V/380V   50HZ
供气系统     集成在控制柜上
气体通道 可同时连接多种气源
流 量 计 浮子流量计
A路量程  1L/MIN
B路量程  1L/MIN
C路量程   1L/MIN
截止阀 不锈钢材质
气体连接管 1/4不锈钢管
气化炉A、B
最高温度 700
工作温度 500
炉膛尺寸 定制
开门方式 侧开
进气口 一个进气口
出气口 一个出气口
售后服务 12个月质保(易耗件及人为损坏除外),终身保修
更多规格可以按照要求来定制
Izq管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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