2024-06-14 15:11:10
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三温区旋转CVD系统
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三温区旋转CVD系统

型号:KJ-T1200-FD
简要描述:    此三温区旋转cvd系统有3个加热区可提高温度均匀性,同时配有3通道的精密混气系统。炉体开启式设计,便于操作和对样品进行快速冷却。……
详细介绍:
主要用途:pPg管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
    主要应用于高等院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产。pPg管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
pPg管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品介绍:pPg管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
    KJ-T1200-FD是一个三温区旋转CVD系统,有3个加热区可提高温度均匀性,同时配有3通道的精密混气系统。炉体开启式设计,便于操作和对样品进行快速冷却。 pPg管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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技术参数:
pPg管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品名称 三温区旋转CVD系统
旋转速度 0-15rpm /min可调
倾斜角度  一侧倾斜:0-15度可调
真空度 可选配旋片泵及相关连接件,可实现真空度-0.1MPA
精密混气系统 三通道质量流量计pPg管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
A路:0-500sccmpPg管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
B路:0-500sccmpPg管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
C路:0-500sccm
最高温度 1100 °C
工作温度 1000℃及以下 
加热区长度 600mm
温度控制 30段PID自动控制,触屏可储存多个工艺,可实现数据记录并拷贝
加热速率 0〜10 ℃/分钟可调
炉管材质 不锈钢管
炉管尺寸 内径:200mm*长1200mm
最高功率 以实际需要为准
更多规格可以按照要求来定制
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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