三温区旋转CVD系统

型号:KJ-T1200-FD

简要描述: 此三温区旋转cvd系统有3个加热区可提高温度均匀性，同时配有3通道的精密混气系统。炉体开启式设计，便于操作和对样品进行快速冷却。……

详细介绍:

主要用途：
主要应用于高等院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产。

产品介绍：
KJ-T1200-FD是一个三温区旋转CVD系统，有3个加热区可提高温度均匀性，同时配有3通道的精密混气系统。炉体开启式设计，便于操作和对样品进行快速冷却。

技术参数：

产品名称	三温区旋转CVD系统
旋转速度	0-15rpm /min可调
倾斜角度	一侧倾斜：0-15度可调
真空度	可选配旋片泵及相关连接件，可实现真空度-0.1MPA
精密混气系统	三通道质量流量计 A路：0-500sccm B路：0-500sccm C路：0-500sccm
最高温度	1100 °C
工作温度	1000℃及以下
加热区长度	600mm
温度控制	30段PID自动控制，触屏可储存多个工艺，可实现数据记录并拷贝
加热速率	0〜10 ℃/分钟可调
炉管材质	不锈钢管
炉管尺寸	内径：200mm*长1200mm
最高功率	以实际需要为准
更多规格可以按照要求来定制

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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