2024-06-21 10:17:46
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三温区三通道混气CVD系统
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三温区三通道混气CVD系统

型号:KJ-T1200-S60K3-3Z
简要描述:    此款CVD系统由KJ-T1200管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,三温区控制,真空可以10Pa,供气系统是流量调节采用是质量流量计,混气路数3路相混合。……
详细介绍:
产品介绍:HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
    KJ-T1200-S60K3-3Z型CVD系统由KJ-T1200管式炉+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,三温区控制,极限真空可以达到10Pa,供气系统采用精准的数显三路质量流量计,混气路数3路相混合。HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
主要用途:该系统广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验,也可用于:真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
技术参数:
HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
高温炉壳体 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55℃,内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 
功率 6 KW
电压 AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 
加热元件 合金电阻丝
最高温度 1200℃
连续工作温度 1100℃
升温速率 最快20℃/min 建议10℃/min
炉管材质和尺寸 石英管: OD: 60mm x Length: 1000 mm 
加热区长度 三温区:220+220+220 mm
控温系统 PID30段程序化控温
控温精度 +/- 1 ℃
真空密封系统 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀)
真空系统 1.VRD-8旋片泵抽速2.2L/SHaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2.极限真空度:10Pa(包含KF25接口、高真空挡板阀和可移动箱体)HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3.数显真空计,实时显示真空度,真空显示范围:1×105--1×10-1pa
混气系统 三路精密质量流量计:数字显示、气体流量自动控制。HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC1 范围: 0~500 sccm(可选)HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC2 范围: 0~500 sccm(可选)HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC3 范围: 0~500 sccm(可选)HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
气路:3路HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
流量精度: 0.2%HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
进气和出气接口: 1/4" 卡套HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。HaH管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。
售后服务 质保一年,终身保修(易损件除外)
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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