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1600℃二通道混气高真空CVD系统
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1600℃二通道混气高真空CVD系统

型号:KJ-T1600-L60-2Z-V
简要描述:    此二通道混气高真空CVD系统是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其最高工作温度可达1600℃,极限真空度可达 to 10-3 Pa。混气系统可以对两种气体进……
详细介绍:
产品简介:
    KJ-T1600-L60-2Z-V是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其最高工作温度可达1600℃,极限真空度可达 to 10-3 Pa。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。

产品用途:
    1600℃CVD是一种特殊的CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火的理想产品,用于真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多个研究领域。

技术参数:

产品名称 1600℃二通道混气高真空CVD系统
管式炉部分
产品型号 KJ-T1600-L60-2Z-V
炉管尺寸 (标配尺寸)(60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L
(选配尺寸)(80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L
炉管材质 高纯刚玉管
加热区 300mm
工作温度 1600℃
最高温度 1700℃
测温元件 B型双铂铑热电偶
温度控制 PID30段程序化控温
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min可调  ,建议10ºC/min
加热元件 高温硅钼棒
工作电压 AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)
加热功率 4KW
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
法兰接头 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。
真空系统部分
主要参数 泵组:高真空分子泵组(中科科仪)
极限真空度:6.7*10-3Pa(包含KF25接口、高真空挡板阀和可移动箱体)
复合数显真空计:实时显示真空度,其测量范围为1×105--1×10-5pa
选用CW-3000循环水冷机,可对真空泵进行冷却
气路系统部分
名称 二路质量流量计
液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体含有针阀单独控制,气体流量自动控制
两进一出,内置精密混气罐
双卡套接头连接
MFC1-MFC2:0-1000sccm(量程可选)
±1.5%F.S左右,量程不同,略有差别
质保 一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件
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