1600℃二通道混气高真空CVD系统
型号:KJ-T1600-L60-2Z-V
简要描述: 此二通道混气高真空CVD系统是一款CE认证的二通道高真空CVD系统，它是由二路质子混气系统和高真空机组组成，其最高工作温度可达1600℃，极限真空度可达 to 10-3 Pa。混气系统可以对两种气体进……
详细介绍:
产品简介：mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
KJ-T1600-L60-2Z-V是一款CE认证的二通道高真空CVD系统，它是由二路质子混气系统和高真空机组组成，其最高工作温度可达1600℃，极限真空度可达 to 10-3 Pa。混气系统可以对两种气体进行准确的混气，然后导入到管式炉内部。mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品用途：mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1600℃CVD是一种特殊的CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火的理想产品，用于真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多个研究领域。mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
技术参数：mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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产品名称 |
1600℃二通道混气高真空CVD系统 |
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管式炉部分 |
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产品型号 |
KJ-T1600-L60-2Z-V |
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炉管尺寸 |
（标配尺寸）(60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm LmXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
（选配尺寸）(80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1000mm L |
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炉管材质 |
高纯刚玉管 |
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加热区 |
300mm |
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工作温度 |
1600℃ |
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最高温度 |
1700℃ |
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测温元件 |
B型双铂铑热电偶 |
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温度控制 |
PID30段程序化控温 |
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控温精度 |
±1℃ |
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温控保护 |
具有超温和断偶保护功能 |
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升温速率 |
0-20ºC/min可调 ，建议10ºC/min |
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加热元件 |
高温硅钼棒 |
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工作电压 |
AC 220V 单相 50HZ （电路电压用户可选择定制） |
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加热功率 |
4KW |
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炉膛材料 |
氧化铝多晶纤维 |
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法兰接头 |
标配配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
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密封系统 |
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。 |
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真空系统部分 |
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主要参数 |
泵组：高真空分子泵组（中科科仪）mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
极限真空度：6.7*10-3Pa（包含KF25接口、高真空挡板阀和可移动箱体）mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
复合数显真空计：实时显示真空度，其测量范围为1×105--1×10-5pamXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
选用CW-3000循环水冷机，可对真空泵进行冷却 |
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气路系统部分 |
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名称 |
二路质量流量计mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单独控制，气体流量自动控制mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
两进一出，内置精密混气罐mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
双卡套接头连接mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC1-MFC2：0-1000sccm（量程可选）mXK管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
±1.5%F.S左右，量程不同，略有差别 |
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质保 |
一年质保期，相关耗材除外，如炉管，密封圈，等易耗件 |
可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。
- 公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
- 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
- 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
- 公司产品获有欧盟CE质量认证
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