2024-06-13 14:04:19
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1600℃二通道混气高真空CVD系统
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1600℃二通道混气高真空CVD系统

型号:KJ-T1600-L60-2Z-V
简要描述:    此二通道混气高真空CVD系统是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其最高工作温度可达1600℃,极限真空度可达 to 10-3 Pa。混气系统可以对两种气体进……
详细介绍:
产品简介:dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
    KJ-T1600-L60-2Z-V是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其最高工作温度可达1600℃,极限真空度可达 to 10-3 Pa。混气系统可以对两种气体进行准确的混气,然后导入到管式炉内部。dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品用途:dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
    1600℃CVD是一种特殊的CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火的理想产品,用于真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多个研究领域。dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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技术参数:
dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
产品名称 1600℃二通道混气高真空CVD系统
管式炉部分
产品型号 KJ-T1600-L60-2Z-V
炉管尺寸 (标配尺寸)(60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm Ldyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
(选配尺寸)(80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L
炉管材质 高纯刚玉管
加热区 300mm
工作温度 1600℃
最高温度 1700℃
测温元件 B型双铂铑热电偶
温度控制 PID30段程序化控温
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min可调  ,建议10ºC/min
加热元件 高温硅钼棒
工作电压 AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)
加热功率 4KW
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
法兰接头 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。
真空系统部分
主要参数 泵组:高真空分子泵组(中科科仪)dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
极限真空度:6.7*10-3Pa(包含KF25接口、高真空挡板阀和可移动箱体)dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
复合数显真空计:实时显示真空度,其测量范围为1×105--1×10-5padyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
选用CW-3000循环水冷机,可对真空泵进行冷却
气路系统部分
名称 二路质量流量计dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体含有针阀单独控制,气体流量自动控制dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
两进一出,内置精密混气罐dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
双卡套接头连接dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC1-MFC2:0-1000sccm(量程可选)dyk管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
±1.5%F.S左右,量程不同,略有差别
质保 一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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