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石墨烯生长炉
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石墨烯生长炉

型号:KJ-T1200-S60K1-3Z
简要描述:    此款石墨烯生长炉CVD系统是专为生长石墨烯研制的石墨烯薄膜生长专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验,温区可独立程序控制,设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样……
详细介绍:
产品介绍:
    KJ-T1200-S60K1-3Z这款设备是专为生长石墨烯研制的石墨烯薄膜生长专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验,温区可独立程序控制,设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。

产品应用:
    适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、二维材料生长、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

主要参数:

产品名称 石墨烯生长炉
     型号 KJ-1200-S60K1-3Z
滑轨管式炉 炉体结构 滑轨式
最高工作温度 1200℃ 
持续工作温度 ≤1100℃
加热速率 最高20℃/min (建议10℃/min)
加热区长度 300mm 单温区
加热元件 含钼电阻丝
热电偶 K 型
控温精度 ±1℃
炉管直径 Φ50,Φ60,Φ80都可用
炉管材质 石英炉管
温度控制器 PID智能程序控温
真空法兰 真空法兰采用304不锈钢制作
左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍
注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰
 
输入电源 单相 220V, 50 Hz  功率:3KW
真空泵系统 旋片真空泵带数字真空计
(包含KF25接口和可移动箱体)
 
 
 极限真空度 10-3 Torr.
炉管内真空度 10-2 Torr.
抽速: 4CFM  (2L/S, 120L/min)
备注:用户可根据真空度要求不同可选用旋片真泵、扩散泵组,分子泵组
质量流量计
 
 
3路高精度质量流量计:
量程:MF1-MF3量程范围50-1000sccm可调
底部安装有一个混气罐,左侧安装有3个不锈钢针阀,可手动控制3种气体的流量。
注意事项 炉管内气压不可高于0.02MPa
· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
· 石英管的长时间使用温度<1100℃
对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
认证 ISO认证、CE认证
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)
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