六通道高真空PECVD系统
型号:KJ-T1200-S60-6ZH-PE
简要描述: 六通道高真空PECVD系统是一款由等离子射频电源，1200度管式炉，分子泵高真空，六通道气路组成的等离子化学气相沉积系统，此款PECVD系统可应用于纳米材料生长，石墨烯生成及薄膜材料的制备……
详细介绍:
产品介绍：k2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
KJ-T1200-S60-6ZH-PE是一款由等离子射频电源，1200度管式炉，分子泵高真空，六通道气路组成的等离子化学气相沉积系统，此款PECVD系统可应用于纳米材料生长，石墨烯生成及薄膜材料的制备等领域。k2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
k2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
技术参数：k2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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产品名称 |
六通道高真空PECVD系统(CE认证) |
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管式炉部分 |
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产品型号 |
KJ-T1200-S60-6ZH-PE |
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炉管尺寸 |
Φ60mmX1400mm |
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炉管材质 |
石英管 |
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加热区 |
400mm |
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工作温度 |
1100℃ |
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最高温度 |
1200℃ |
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温控方式 |
K型热电偶 |
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控制方式 |
30段可编程序控温 |
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控温精度 |
±1℃ |
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温控保护 |
具有超温和断偶保护功能 |
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升温速率 |
0-20ºC/min ，建议10ºC/min |
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加热元件 |
含钼电阻丝 |
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工作电压 |
AC 220V 单相 50HZ （电路电压用户可选择定制） |
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加热功率 |
3KW |
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炉膛材料 |
氧化铝多晶纤维 |
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法兰接头 |
标配配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
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密封系统 |
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。 |
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选配 |
辅助降温风扇 |
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真空系统部分 |
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名称 |
真空系统 |
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主要参数 |
1.采用高真空分子泵组，极限真空度可达10-3pak2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连；k2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3.数字式真空显示，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度高高 |
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气路系统部分 |
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名称 |
六路质量流量计 |
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主要参数 |
六通道精密质量流量计：触屏控制，数字显示，自动控制。流量范围流量范围：k2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1.MFC 1-MFC6：0-1000sccm可调k2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2.一个混气罐k2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3.6个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制6种气体；k2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
4.进出气口：6进1出k2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
流量控制：手动旋转式调节k2U管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
连接方式：双卡套连接 |
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等离子电源部分 |
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名称 |
500W等离子电源 |
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功率范围 |
0-500W（连续可调） |
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工作频率 |
13.56MHZ+0.005% |
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工作模式 |
连续输出 |
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射频输出阻抗接口 |
N-type,female（50Ω） |
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功率稳定度 |
≤2W |
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最大反射功率 |
70W |
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电源保护设置 |
DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护 |
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供电电压/频率 |
单相交流（187V-253V）50-60HZ |
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冷却方式 |
风冷 |
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整机尺寸 |
88X483X550 MM |
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整机重量 |
13.5KG |
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认证 |
ISO认证、CE认证 |
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售后服务 |
质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围） |
可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。
- 公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
- 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
- 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
- 公司产品获有欧盟CE质量认证
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