旋转PECVD设备-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品用途：
广泛应用于生长纳米或石墨烯材料。

产品介绍：
该设备是一款定制的增加了倾斜、旋转功能PECVD 系统。该系统包含等离子射频电源，高温管式炉，4通道质量流量供气系统和分子泵机组。可用于生长纳米或石墨烯材料。

技术参数：

产品名称	定制旋转PECVD系统
滑轨管式炉部分
产品型号	KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
炉管尺寸	80*长度1600mm 可选其他直径Φ50，60，80，100，120，150mm
炉管材质	石英管
加热区	单温区，温区长度400mm
工作温度	1100℃
最高温度	1200℃
温控方式	K型热电偶
控制方式	触屏控制
控温精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	0-20ºC/min可调，建议10ºC/min
加热元件	含钼电阻丝
工作电压	AC 220V 单相 50HZ （电路电压用户可选择定制）
加热功率	3KW
炉膛材料	氧化铝多晶纤维
法兰接头	标配配有不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，磁流体密封，气密性好可实现炉管旋转过程中的高真空。
真空系统部分
主要参数	采用高真空分子泵组，炉管内真空度可达10-3pa
气路系统部分
名称	四路质量流量计（量程可选）
等离子电源部分
功率范围	0-500W（连续可调）
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围）
更多规格可根据客户需求定制

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

免责声明：本站产品的介绍内容（包括产品图片、产品介绍、技术参数等）主要用于产品宣传，仅供参考。由于产品更新速度快，部分技术参数等内容可能会与实物有所偏差，请勿复制或者截图。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息及更多参数，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，请勿将此参数用于招标文件或者合同，我们公司会不定期完善和更新网站信息，恕不另行通知，请您谅解。

上一篇:六通道高真空PECVD系统下一篇:PECVD系统

您的姓名：
联系方式：
产品名称：
公司名称：
参数要求：

旋转PECVD设备

以诚信广交天下朋友，以品质赢取市场！

旋转PECVD设备

混气管式PECVD系统

六通道高真空PECVD系统

滑道式PECVD系统

热门产品

在线留言

真空钎焊炉

真空烧结炉

真空热处理炉

工业型真空炉

旋转管式炉

多温区管式炉

大管径管式炉

立式管式炉

RTP快速退火炉

多工位/滑道管式炉

常规管式炉

(300-1200℃)气氛炉

(1300-1400℃)气氛炉

(1500-1800℃)气氛炉

(300-1200℃)箱式炉

(1300-1400℃)箱式炉

(1500-1800℃)箱式炉

CVD

PECVD