PECVD系统-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品介绍：
该产品是由射频电源、气体质子流量控制系统、衬底控温系统、真空系统组成，适用于室温至1200℃条件下进行SiO2、SiNx薄膜的沉积，同时可实现TEOS源沉积，SiC膜层沉积以及液态气态源沉积其它材料，尤其适合于有机材料上高效保护层膜和特定温度下无损伤钝化膜的沉积。

产品参数： >

产品名称	PECVD系统
产品型号	KJ-T1200-PE
外壳	不锈钢
内衬	两层氧化铝纤维
加热元件	电阻丝
电源供应	AC 208-240V，单相，50/60 Hz
最高温度	1200°C (2 hour)
工作温度	1100 °C
温度均匀	±1°C
最大加热和冷却速率	≤15 °C/min
炉管尺寸	Φ200×1400mm
管材	优质石英管
加热区大小	Φ200×300mm
恒定温度，区域长度	180mm
密封	法兰
功率	8KW
温度控制	30 个可编程段，用于准确控制加热速率、冷却速率和停留时间。内置 PID 自动调谐功能，具有过热和热电偶断路保护。过温保护和警报允许在没有服务人员的情况下进行操作。 +/- 1 ºC 温度精度。
准确	±1°C
总重量	100Kg

600W等离子射频电源	输出功率	5 -600W 可调，稳定性为 ± 1%
	射频频率	13.56 MHz ±0.005% 稳定性
	反射功率	200W最大
	匹配	自动的
	射频输出端口	50 Ω，N 型，母头
	噪音	<50 dB.
	冷却	空气冷却
	电压	220V, 50Hz

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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