立式PECVD设备-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品用途：广泛应用于多种薄膜的生长。

产品介绍：
定制PECVD系统，由真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。该系统以含钼电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，真空泵接口，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。并具有以下特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

技术参数：
-0.1～0.15 MPa

产品名称	定制PECVD系统
产品型号	KJ-PECVD-DZ
立式管式炉
炉膛模式	立式开启式
炉膛材料	进口氧化铝耐火纤维
加热元件	进口含钼加热丝
极限温度	1200℃
工作温度	≤1100℃
升温速率	≤20℃(建议:15℃/min)
加热温区	单温区、多温区
温区总长度	200、300、440
炉管材质	高纯石英
炉管直径	40、50、60、80、100、120、150mm......
密封方式	304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)
控制模式	触屏 30段智能PID程序控温预留通讯接口
控温精度	±1℃
温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件	K型热电偶
气路系统
工作电压	220V/50HZ
最大输出功率	18W
气体通道	可同时连接多种气源
流量计	质量流量计
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	1/4不锈钢管
等离子电源系统
射频频率	13.56 MHz ±0.005%
功率范围	0-100W、0-300W 、0-500W ± 1%
数显真空计及连接件
数显真空计	数显真空计安装在不锈钢法兰上或电控柜上
真空泵组(相关连接配件)
真空泵	真空泵,及相应连接管件 220V/50HZ
汽化系统
蠕动泵	准确度：+/- 0.5% FS 流量: 0 - 10 ml/min，可调，最小速率0.1ml/min 将吸液管放置在溶液容器中，蠕动泵可自动抽取液体
加热＆控温	流体和气体会在一个不锈钢罐中加热，不锈钢出气管处有二次加热带
气体流量控制	气体流速通过浮子流量计控制
认证	ISO认证、CE认证
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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