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产品名称 | 混气管式PECVD系统 | |
型号 | KJ-T1200-S60-3ZPE | |
管式炉 | 最高工作温度 | 1200℃ |
持续工作温度 | ≤1100℃ | |
加热速率 | 最高20℃/min (建议10℃/min) | |
加热区长度 | 300mm 单温区 | |
加热元件 | 含钼电阻丝 | |
热电偶 | K 型 | |
控温精度 | ±1℃ | |
炉管尺寸 | 炉管直径Φ50,Φ60,Φ80都可用 | |
材质: 高纯石英 | ||
温度控制器 | PLC触屏控制 | |
真空法兰 |
真空法兰采用304不锈钢制作 · 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。 · 右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍 注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰 |
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输入电源 |
单相 220V, 50 Hz 功率:3KW | |
真空泵系统 | 进口真空泵 |
采用进口真空泵,真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连; 进口数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换 |
等离子体射频电源 (图片仅供参考) |
功率范围 | 0-300W(连续可调) |
工作频率 | 13.56MHZ+0.005% | |
工作模式 | 连续输出 | |
供电电源/频率 | 单相交流 (187V-253V)50-60HZ | |
射频输出接口 | UHF male | |
功率稳定度 | ≤2W | |
最大反射功率 | <2W | |
谐波分量 | ≤-50 (dBc) | |
电源保护设置 | DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护 | |
冷却方式 | 强制风冷 | |
等离子电源功率可选 | 200w/300w/500w/1000w | |
触屏质量流量计 |
三通道精密质量流量计:液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体控制均可在不同气体中任意切换,无须人工换算; 1.MFC 1-MFC3:0-500sccm可调 2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制3种气体; 3.进出气口:3进1出 4.连接方式:双卡套连接 |
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注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 · 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) |
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质保 |
一年质保期相关耗材除外,如加热元件,密封圈等易耗件 |