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混气管式PECVD系统
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混气管式PECVD系统

型号:KJ-T1200-S60-3ZPE
简要描述:    KJ-T1200-S60-3ZPE设备是由触屏管式炉、三路混气气路系统、进口真空系统、300w等离子电源系统组成,可用于石墨烯制备。……
详细介绍:
产品介绍:
    KJ-T1200-S60-3ZPE设备是由触屏管式炉、三路混气气路系统、进口真空系统、300w等离子电源系统组成,可用于石墨烯制备。
 
主要特点:
    1、通过SE频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
    2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
    3、可以通过SE频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
    4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
    5、广泛应用于:各种薄膜的生长。
技术参数:

产品名称 混气管式PECVD系统
     型号 KJ-T1200-S60-3ZPE
管式炉 最高工作温度 1200℃ 
持续工作温度 ≤1100℃
加热速率 最高20℃/min (建议10℃/min)
加热区长度 300mm 单温区
加热元件 含钼电阻丝
热电偶 K 型
控温精度 ±1℃
炉管尺寸 炉管直径Φ50,Φ60,Φ80都可用
材质:  高纯石英
温度控制器 PLC触屏控制
真空法兰 真空法兰采用304不锈钢制作
· 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。
· 右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍
注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰
 
输入电源
 
单相 220V, 50 Hz  功率:3KW
真空泵系统 进口真空泵  
采用进口真空泵,真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;
进口数字式真空显示计,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度可达0.1,测量不同气体种类不需要系数转换
等离子体射频电源
(图片仅供参考)
功率范围 0-300W(连续可调)
工作频率 13.56MHZ+0.005%
工作模式 连续输出
供电电源/频率 单相交流 (187V-253V)50-60HZ
射频输出接口 UHF male
功率稳定度 ≤2W
最大反射功率 <2W
谐波分量 ≤-50 (dBc)
电源保护设置 DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护
冷却方式 强制风冷
  等离子电源功率可选 200w/300w/500w/1000w
触屏质量流量计
 
 
三通道精密质量流量计:液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体控制均可在不同气体中任意切换,无须人工换算;
1.MFC 1-MFC3:0-500sccm可调
2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制3种气体;
3.进出气口:3进1出
4.连接方式:双卡套连接
注意事项 炉管内气压不可高于0.02MPa
· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
· 石英管的长时间使用温度<1100℃
对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
 
质保 一年质保期相关耗材除外,如加热元件,密封圈等易耗件
 
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