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| 产品名称 | 混气管式PECVD系统 | |
| 型号 | KJ-T1200-S60-3ZPE | |
| 管式炉 | 最高工作温度 | 1200℃ |
| 持续工作温度 | ≤1100℃ | |
| 加热速率 | 最高20℃/min （建议10℃/min） | |
| 加热区长度 | 300mm 单温区 | |
| 加热元件 | 含钼电阻丝 | |
| 热电偶 | K 型 | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 炉管尺寸 | 炉管直径Φ50，Φ60，Φ80都可用 | |
| 材质: 高纯石英 | ||
| 温度控制器 | PLC触屏控制 | |
| 真空法兰 |
真空法兰采用304不锈钢制作 · 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。 · 右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍 注：法兰可选结构，标准螺丝法兰，快接KF法兰，铰链法兰 |
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输入电源 |
单相 220V, 50 Hz 功率：3KW | |
| 真空泵系统 | 进口真空泵 |
采用进口真空泵，真空度达 1.5 x 10-3 Torr 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连； 进口数字式真空显示计，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度可达0.1，测量不同气体种类不需要系数转换 |
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等离子体射频电源 （图片仅供参考） |
功率范围 | 0-300W（连续可调） |
| 工作频率 | 13.56MHZ+0.005% | |
| 工作模式 | 连续输出 | |
| 供电电源/频率 | 单相交流 (187V-253V)50-60HZ | |
| 射频输出接口 | UHF male | |
| 功率稳定度 | ≤2W | |
| 最大反射功率 | ＜2W | |
| 谐波分量 | ≤-50 (dBc) | |
| 电源保护设置 | DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护 | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 等离子电源功率可选 | 200w/300w/500w/1000w | |
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触屏质量流量计 |
三通道精密质量流量计：液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体控制均可在不同气体中任意切换，无须人工换算； 1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可调 2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制3种气体； 3.进出气口：3进1出 4.连接方式：双卡套连接 |
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| 注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
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| 质保 |
一年质保期相关耗材除外，如加热元件，密封圈等易耗件 |
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