TEL:181-3719-5607
滑道式PECVD系统
  • 滑道式PECVD系统

滑道式PECVD系统

型号:KJ-T1200-S6044-LK-Z
简要描述:    滑道式PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。……
详细介绍:
产品介绍:
   滑道式PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

产品应用:
   该系统广泛应用于沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)等。

产品结构:
   滑道式PECVD系统由PT-1200T管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源系统组成。

规格参数:

产品名称 滑道式PECVD系统
滑轨管式炉部分
产品型号 KJ-T1200-S6044-LK-Z
加热区长度 440mm
炉管直径 直径60mm
工作温度 ≦1100℃
最高温度 1200℃
测温元件 K型热电偶
温控系统 PID微电脑可编程自动控制
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min
加热元件 高电阻电热合金丝OCr27A17Mo
工作电压 AC 220V 单相 50HZ 
滑轨设计 能实现快速升降温
炉膛材料 采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好
炉  管 高纯石英管
法   兰 不锈钢法兰,方便拆卸,放取材料
炉壳温度 ≤45℃
                     真空系统部分
名称 高真空分子泵组
主要参数 真空泵极限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移动箱体)
真空计测量范围 其测量范围为1×105--1×10-5pa
气路系统部分
名称 四路质量流量计
气路 四路
流量控制 每路气体含有针阀单独控制
流量计 质量流量计
流量范围 0-1000sccm可调
工作环境温度 5℃-45℃
等离子电源系统
匹配功率范围 0-500W
工作频率 13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率 <3W
匹配时间 <3S
传输效率 >90%
匹配器电源 AC220V/50-60HZ
输入连接器 N型
输出连接器 UHF
控制模式 手动/自动
可设预置点数 7
认证 ISO认证、CE认证
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)
免责声明: 本站产品的介绍内容(包括产品图片、产品介绍、技术参数等)主要用于产品宣传,仅供参考。由于产品更新速度快,部分技术参数等内容可能会与实物有所偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,我们公司会不定期完善和更新网站信息,恕不另行通知,请您谅解。

以诚信广交天下朋友,以品质赢取市场!

想要了解产品信息与最新价格,可以直接拨打科佳电炉客服中心7×24小时值班电话:181-3719-5607

电话暂时不方便?那就在箭头的下方填写您的需求,我们会尽快回复您!

相关推荐

在线留言

您的姓名:
联系方式:
产品名称:
公司名称:
参数要求:

咨询享受更多优惠

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

181-3719-5607

扫一扫,关注我们

版权所有:郑州科佳电炉有限公司|营业执照 备案号: 豫ICP备09034003号-1  网站地图| 科佳炉业国际站