TEL:181-3719-5607
等离子体增强化学气相沉积系统PECVD
  • 等离子体增强化学气相沉积系统PECVD

等离子体增强化学气相沉积系统PECVD

型号:KJ-T1200-S60-PE
简要描述:    此款等离子体增强化学气相沉积系统由外径60mm的滑道式管式炉,3路质量流量计系统,300W射频电源系统和真空系统组成。……
详细介绍:
产品简介:
    KJ-T1200-S60-PE(等离子体增强化学气相沉积系统)由外径60mm的滑道式管式炉,3路质量流量计系统,300W射频电源系统和真空系统组成。
此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。
 
主要用途:
    高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备,生长薄膜石墨烯、金属薄膜、陶瓷薄膜、符合薄膜等,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。
 
技术参数:

产品名称 等离子体增强化学气相沉积系统PECVD
     型号 KJ-T1200-S60-PE
  炉体结构 滑轨式
最高工作温度 1200℃ 
持续工作温度 ≤1100℃
加热速率 最高20℃/min (建议10℃/min)
加热区长度 300mm 单温区
加热元件 含钼电阻丝
热电偶 K 型
控温精度 ±1℃
炉管尺寸 炉管直径Φ50,Φ60,Φ80都可用
材质:  高纯石英
温度控制器 PID智能程序控温
真空法兰 真空法兰采用304不锈钢制作
· 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。
· 右端法兰设计为KF25接口,配有挡板阀和两个KF25卡箍
注:法兰可选结构,标准螺丝法兰,快接KF法兰,铰链法兰
输入电源 单相 220V, 50 Hz  功率:3KW
真空泵系统 旋片真空泵带数字真空计
(包含KF25接口和可移动箱体)
极限真空度 10-3 Torr.
炉管内真空度 10-2 Torr.抽速: 4CFM  (2L/S, 120L/min)  
等离子体射频电源 功率范围 0-300W(连续可调)
工作频率 13.56MHZ+0.005%
工作模式 连续输出
供电电源/频率 单相交流 (187V-253V)50-60HZ
射频输出接口 UHF male
功率稳定度 ≤2W
最大反射功率 <2W
谐波分量 ≤-50 (dBc)
电源保护设置 DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护
冷却方式 强制风冷
  等离子电源功率可选 200w/300w/500w/1000w
质量流量计
 
 
3路高精度质量流量计:
量程:
MFC 1: 0-100 sccm     
MFC 2: 0-500 sccm
MFC 3: 0-1000 sccm
底部安装有一个混气罐,左侧安装有3个不锈钢针阀,可手动控制3种气体的流量。
注意事项 炉管内气压不可高于0.02MPa
· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
· 石英管的长时间使用温度<1100℃
对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
质保 一年质保期相关耗材除外,如加热元件,密封圈等易耗件
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
免责声明: 本站产品的介绍内容(包括产品图片、产品介绍、技术参数等)主要用于产品宣传,仅供参考。由于产品更新速度快,部分技术参数等内容可能会与实物有所偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,我们公司会不定期完善和更新网站信息,恕不另行通知,请您谅解。

以诚信广交天下朋友,以品质赢取市场!

想要了解产品信息与最新价格,可以直接拨打科佳电炉客服中心7×24小时值班电话:

181-3719-5607

相关推荐

咨询享受更多优惠

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

181-3719-5607

扫一扫,关注我们

版权所有:郑州科佳电炉有限公司|营业执照 备案号: 豫ICP备09034003号-1  网站地图