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六通道高真空PECVD系统
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六通道高真空PECVD系统

型号:KJ-T1200-S60-6ZH-PE
简要描述:    六通道高真空PECVD系统是一款由等离子射频电源,1200度管式炉,分子泵高真空,六通道气路组成的等离子化学气相沉积系统,此款PECVD系统可应用于纳米材料生长,石墨烯生成及薄膜材料的制备……
详细介绍:
产品介绍:
    KJ-T1200-S60-6ZH-PE是一款由等离子射频电源,1200度管式炉,分子泵高真空,六通道气路组成的等离子化学气相沉积系统,此款PECVD系统可应用于纳米材料生长,石墨烯生成及薄膜材料的制备等领域。

技术参数:

产品名称 六通道高真空PECVD系统(CE认证)
管式炉部分
产品型号 KJ-T1200-S60-6ZH-PE
炉管尺寸 Φ60mmX1400mm
炉管材质 石英管
加热区 400mm
工作温度 1100℃
最高温度 1200℃
温控方式 K型热电偶
控制方式 30段可编程序控温
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min  ,建议10ºC/min
加热元件 含钼电阻丝
工作电压 AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)
加热功率 3KW
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
法兰接头 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。
选配 辅助降温风扇
                     真空系统部分
名称 真空系统
主要参数 1.采用高真空分子泵组,极限真空度可达10-3pa
2.KF25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连;
3.数字式真空显示,其测量范围为5×10-5- 1500mbar,测量精度高高
气路系统部分
名称 六路质量流量计
主要参数 六通道精密质量流量计:触屏控制,数字显示,自动控制。流量范围流量范围:
1.MFC 1-MFC6:0-1000sccm可调
2.一个混气罐
3.6个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制6种气体;
4.进出气口:6进1出
流量控制:手动旋转式调节
连接方式:双卡套连接
等离子电源部分
名称 500W等离子电源
功率范围 0-500W(连续可调)
工作频率 13.56MHZ+0.005%
工作模式 连续输出
射频输出阻抗接口 N-type,female(50Ω)
功率稳定度 ≤2W
最大反射功率 70W
电源保护设置 DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护
供电电压/频率 单相交流(187V-253V)50-60HZ
冷却方式 风冷
整机尺寸 88X483X550 MM
整机重量 13.5KG
认证 ISO认证、CE认证
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
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