TEL:181-3719-5607
旋转PECVD设备
  • 旋转PECVD设备

旋转PECVD设备

型号:KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
简要描述:    该定制旋转PECVD系统是一款定制的增加了倾斜、旋转功能PECVD 系统。该系统包含等离子射频电源,高温管式炉,4通道质量流量供气系统和分子泵机组。……
详细介绍:
产品用途:
    广泛应用于生长纳米或石墨烯材料。

产品介绍:
    该设备是一款定制的增加了倾斜、旋转功能PECVD 系统。该系统包含等离子射频电源,高温管式炉,4通道质量流量供气系统和分子泵机组。可用于生长纳米或石墨烯材料。

技术参数:

产品名称 定制旋转PECVD系统
滑轨管式炉部分
产品型号 KJ-T1200-S80-DZPECVD-R
炉管尺寸 80*长度1600mm
可选其他直径Φ50,60,80,100,120,150mm
炉管材质 石英管
加热区 单温区,温区长度400mm
工作温度 1100℃
最高温度 1200℃
温控方式 K型热电偶
控制方式 触屏控制
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min可调  ,建议10ºC/min
加热元件 含钼电阻丝
工作电压 AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)
加热功率 3KW
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
法兰接头 标配配有不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,磁流体密封,气密性好可实现炉管旋转过程中的高真空。
真空系统部分
主要参数 采用高真空分子泵组,炉管内真空度可达10-3pa
气路系统部分
名称 四路质量流量计(量程可选)
等离子电源部分
功率范围 0-500W(连续可调)
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围)
更多规格可根据客户需求定制

可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
免责声明: 本站产品的介绍内容(包括产品图片、产品介绍、技术参数等)主要用于产品宣传,仅供参考。由于产品更新速度快,部分技术参数等内容可能会与实物有所偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,我们公司会不定期完善和更新网站信息,恕不另行通知,请您谅解。
上一篇:六通道高真空PECVD系统 下一篇:没有了

以诚信广交天下朋友,以品质赢取市场!

想要了解产品信息与最新价格,可以直接拨打科佳电炉客服中心7×24小时值班电话:181-3719-5607

电话暂时不方便?那就在箭头的下方填写您的需求,我们会尽快回复您!

相关推荐

在线留言

您的姓名:
联系方式:
产品名称:
公司名称:
参数要求:

咨询享受更多优惠

在线客服 联系方式 二维码

服务热线

181-3719-5607

扫一扫,关注我们

版权所有:郑州科佳电炉有限公司|营业执照 备案号: 豫ICP备09034003号-1  网站地图| 科佳炉业国际站