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带预热系统的滑动PECVD系统
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带预热系统的滑动PECVD系统

型号:KJ-T1200-S06LC-YR
简要描述:    此款滑动式双温区PECVD系统是一款带有预热系统的滑动PECVD系统。该系统包含等离子射频电源,预热炉,滑动式管式炉,4通道质量流量供气系统和旋片泵组成。可用于生长纳米或CVD方法来制作各……
详细介绍:
产品用途:
    此款带有预热系统的滑动PECVD系统对于生长纳米线或用CVD方法来制作各种薄膜是一款新的探索工具。

产品介绍:
    该设备是一款带有预热系统的滑动PECVD系统。该系统包含等离子射频电源,预热炉,滑动式管式炉,4通道质量流量供气系统和旋片泵组成。可用于生长纳米或CVD方法来制作各种薄膜。

技术参数:

产品名称 带预热系统的滑动PECVD系统
滑轨管式炉部分
产品型号 KJ-T1200-S06LC-YR
炉管尺寸 60*长度1600mm
可选其他直径Φ50,80,100,120,150mm
炉管材质 石英管
加热区 双温区,每个温区长度200mm
工作温度 1100℃
最高温度 1200℃
温控方式 K型热电偶
控制方式 触屏控制
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min可调  ,建议10ºC/min
加热元件 含钼电阻丝
工作电压 AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)
加热功率 3KW
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
炉体结构 炉体带滑轨,可实现快速升温和降温
法兰接头 标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好。
预热炉
主要参数 最高温度1100度 ,多段程序控温,可将固体和液体原料放在预热炉中,气化后与气体原料相混合
真空系统部分
主要参数 采用机械,可实现炉管内的真空
气路系统部分
名称 四路质量流量计(量程可选)
等离子电源部分
功率范围 0-500W(连续可调)
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围)
更多规格可根据客户需求定制

 
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
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