带预热系统的滑动PECVD系统-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品用途：
此款带有预热系统的滑动PECVD系统对于生长纳米线或用CVD方法来制作各种薄膜是一款新的探索工具。

产品介绍：
该设备是一款带有预热系统的滑动PECVD系统。该系统包含等离子射频电源，预热炉，滑动式管式炉，4通道质量流量供气系统和旋片泵组成。可用于生长纳米或CVD方法来制作各种薄膜。

技术参数：

产品名称	带预热系统的滑动PECVD系统
滑轨管式炉部分
产品型号	KJ-T1200-S06LC-YR
炉管尺寸	60*长度1600mm 可选其他直径Φ50，80，100，120，150mm
炉管材质	石英管
加热区	双温区，每个温区长度200mm
工作温度	1100℃
最高温度	1200℃
温控方式	K型热电偶
控制方式	触屏控制
控温精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	0-20ºC/min可调，建议10ºC/min
加热元件	含钼电阻丝
工作电压	AC 220V 单相 50HZ （电路电压用户可选择定制）
加热功率	3KW
炉膛材料	氧化铝多晶纤维
炉体结构	炉体带滑轨，可实现快速升温和降温
法兰接头	标配配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。
预热炉
主要参数	最高温度1100度，多段程序控温，可将固体和液体原料放在预热炉中，气化后与气体原料相混合
真空系统部分
主要参数	采用机械，可实现炉管内的真空
气路系统部分
名称	四路质量流量计（量程可选）
等离子电源部分
功率范围	0-500W（连续可调）
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围）
更多规格可根据客户需求定制

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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