2024-06-14 15:11:12
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ALD PECVD设备
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ALD PECVD设备

型号:KJ-PECVD-LM
简要描述:    该pecvd设备是由管式炉真空泵和六通道质量流量计气体流动系统组成的。它可以混合1-6种气体用于PECVD或扩散。……
详细介绍:
产品简介:3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
该pecvd设备是由管式炉真空泵和六通道质量流量计气体流动系统组成的。它可以混合1-6种气体用于PECVD或扩散。属于PECVD系列设备的一种。3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
技术参数:
参数 KJ-PECVD-LM
第一部分:标准件
管式炉 Display 触摸屏3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
连续工作温度. ≤1100℃第一温区3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
≤1100℃第二温区3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
≤1600℃第三温区
升温速率 建议: 0~10℃/min
温区 220mm+220mm+220mm
加热元件 硅碳棒和硅钼棒
热电偶 K型和B型
温度控制精度 ±1℃
炉管尺寸 80x1600mm (OD x minimum L) Approx.
材料:氧化铝管
温度控制 通过SCR功率控制的PID自动控制
倾斜功能 0-15度3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
(不建议在1100C温度下使用倾斜功能,因为MoSi2加热元件可能容易损坏。高温时会变软,请注意。)
加热曲线 30步可编程
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
右侧法兰为滑动式。3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
法兰应为水冷式。
电源 220V, 50 Hz, single phase at max. 8KW
等离子射频3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 
功率范围 0-300W(连续可调)
控制模式 手动
工作频率 13.56MHz
报警保护 直流过载保护、直流/放大器过热保护、反射功率保护、匹配超时保护
射频输出阻抗接口(50Ω) N型,内螺纹
功率稳定性 ≤ 1 W
最大反射功率 200 W
谐波分量≤d Bc -50
电源电压 187V - 253V
总效率≥% 70
冷却方法 强制空气冷却
真空泵 3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 
分子泵系统 极限真空:6.7*10-5 Pa。3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
包括数字真空计   
质量流量计3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
(LCD触摸屏)
六个精密质量流量计:3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC精度为:±1.5%F.S。3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC1 氩气:气体流量范围取决于客户的要求3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC2 氮气:气体流量范围取决于客户的要求3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC3 氧气:气体流量范围取决于客户的要求3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC4 二氢化二碳:气体流量范围取决于客户的要求3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC5 甲烷:气体流量范围取决于客户的要求3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC6 氢气:气体流量范围取决于客户的要求3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
(以上流量范围仅供参考,请在订购前确认气体流量范围。)3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
底壳上安装了一个气体混合罐,底壳左侧安装了6个不锈钢针阀,用于手动控制6种类型的气体混合。3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
MFC的液晶触摸屏(由科佳设计,带有科佳标志)如下:3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
ALD阀门(此阀门不是由我们提供的)
两个带脉冲控制器的ALD阀(持续时间至少为10ms)3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
并连接到触摸屏3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
17MHZ超声波雾化3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 
配备1.7MHz超声波雾化器,液体可雾化成液体颗粒并引入管式炉。3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
20VAC,1.7MHz超声波雾化器3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
•液体罐标配316不锈钢,并用氟橡胶密封件密封;3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
•雾化量可设置为1至8,雾化量可通过调整齿轮的大小来控制;3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
•可实现连续运行雾化和常规运行雾化两种功能。正时可以从30分钟调整到180分钟(每30分钟调整一次档位)。
液体注入系统 •一套用于自动液体供给的标准液体注入泵3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
•注射泵配有最大容量为60ml的塑料注射器,用于容纳液体;3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
•注射泵速度调节范围:3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
0.004ml/min-70ml/min
水冷却器 用于冷却水冷法兰和真空泵。3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3CP管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
 
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
免责声明: 本站产品的介绍内容(包括产品图片、产品介绍、技术参数等)主要用于产品宣传,仅供参考。由于产品更新速度快,部分技术参数等内容可能会与实物有所偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,我们公司会不定期完善和更新网站信息,恕不另行通知,请您谅解。

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