2024-06-13 14:04:21
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1200℃管式PECVD系统
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1200℃管式PECVD系统

型号:KJ-TPECVD1100-S80CK3
简要描述:    KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统主要用于金属粉末镀膜中,可以旋转倾斜。……
详细介绍:
产品介绍:

KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统主要用于金属粉末镀膜中,可以旋转倾斜。KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系统属于PECVD系列的一种。ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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1200℃管式PECVD系统实拍图ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1200℃管式PECVD系统实拍图
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产品优势:

1、气密性好ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1200℃管式PECVD系统炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好,磁流体密封,保证旋转过程中还能抽真空ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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2、温场均衡ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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3、可旋转、倾斜ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1200℃管式PECVD系统主要采用J-T1200旋转管式炉,可倾斜可旋转,可360度旋转,转速0-15转(速度可调);倾斜角0-15°(倾斜角可调)方便进出料,并且路管内设置有扬料板,使材料在炉膛内均匀受热ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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4、温控保护ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
具有超温和断偶保护功能
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产品参数:
产品名称 管式PECVD等离子气相沉积系统(CE认证)
旋转管式炉部分
产品型号 KJ-T1200
加热区长度 660mm(220+220+220mm三温区)
恒温区长度 400mm
炉管材质 高纯石英管(变径管)
炉管尺寸 变径管ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
两端尺寸OD:80mm* 400mmln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
中间尺寸OD:150mm* 400mmln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
总长1200mm 炉管中间部分焊接扬料板
工作温度 ≦1100℃
最高温度 1200℃
测温元件 3支K型热电偶分别控温
温控系统 7寸触屏显示,16段可储藏曲线,30段PID微电脑可编程自动控制,能储存和拷贝数据
保温温控精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min
加热元件 合金电阻丝
工作电压 AC220V 单相50HZ
额定功率 5KW(以实际功率为准)
炉膛材料 采用多晶纤维炉膛材料,材料保温性能好、反射率高、温场均衡
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好
法   兰 水冷密封法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀,方便拆卸,放取材料
倾斜结构 可倾斜倾斜角0-15°(倾斜角可调)方便进出料
旋转结构 可 360 度旋转,ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
转速0-15转(速度可调)ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
材料在炉膛内均匀受热
炉壳温度 ≤45℃
真空系统部分
名称 分子泵组:ln7管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
旋片泵DRV16+分子泵FF-160/620
主要参数 极限真空度6.7*10-3Pa(包含KF25接口、真空挡板阀和可移动箱体)
真空显示 电容隔膜真空规,耐腐蚀,实时显示真空度
真空显示量程 其测量范围为1×105--1×10-5pa
旋转密封 磁流体密封,保证旋转过程中还能抽真空
气路系统部分
名称 三路质量流量计
气路 三路
流量控制 液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体含有针阀单独控制,气体流量自动控制
进出气口 三进一出,内置精密混气罐
链接方式 双卡套接头
流量范围 MFC1-MFC3:0-10SLM(量程可选)
控制精度 ±1.5%F.S左右,量程不同,略有差别
工作环境温度 5℃-45℃
等离子射频器部分
名称 射频自动匹配器
工作频率 13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率 <3W
匹配时间 <3S
传输效率 >90%
使用稳定性 ±1%F.S
匹配器电源 AC220V/50-60HZ
输入连接器/输出连接器 N型/UHF
控制模式 手动/自动

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可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
免责声明: 本站产品的介绍内容(包括产品图片、产品介绍、技术参数等)主要用于产品宣传,仅供参考。由于产品更新速度快,部分技术参数等内容可能会与实物有所偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,我们公司会不定期完善和更新网站信息,恕不另行通知,请您谅解。

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