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立式PECVD设备
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立式PECVD设备

型号:KJ-PECVD-DZ
简要描述:    该立式PECVD设备以含钼电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料。具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能……
详细介绍:
产品用途:广泛应用于多种薄膜的生长。

产品介绍:
    定制PECVD系统,由真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。 该系统以含钼电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,真空泵接口,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。并具有以下特点:  
     1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
     2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
     3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
     4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

技术参数:

产品名称 定制PECVD系统
产品型号 KJ-PECVD-DZ
立式管式炉
炉膛模式 立式开启式
炉膛材料 进口氧化铝耐火纤维
加热元件 进口含钼加热丝
极限温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速率 ≤20℃(建议:15℃/min)
加热温区 单温区、多温区
温区总长度 200、300、440
炉管材质 高纯石英
炉管直径 40、50、60、80、100、120、150mm......
密封方式 304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)  
控制模式 触屏 30段智能PID程序控温  预留通讯接口
控温精度 ±1℃
温度曲线 多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件 K型热电偶
气路系统
工作电压 220V/50HZ
最大输出功率 18W
气体通道 可同时连接多种气源
流 量 计 质量流量计
气路压力 -0.1~0.15 MPa
截止阀 不锈钢材质
气体连接管 1/4不锈钢管
等离子电源系统
射频频率 13.56 MHz    ±0.005%
功率范围 0-100W、0-300W 、0-500W       ± 1%
数显真空计及连接件
数显真空计   数显真空计安装在不锈钢法兰上或电控柜上
      真空泵组(相关连接配件)
真空泵 真空泵,及相应连接管件 220V/50HZ
汽化系统
 
 蠕动泵
 精确度:+/- 0.5% FS
 流量: 0 - 10 ml/min,可调,最小速率0.1ml/min
 将吸液管放置在溶液容器中,蠕动泵可自动抽取液体
加热&控温  流体和气体会在一个不锈钢罐中加热, 不锈钢出气管处有二次加热带
气体流量控制 气体流速通过浮子流量计控制
认证 ISO认证、CE认证
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
售后服务
  • 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
  • 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
  • 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
  • 公司产品获有欧盟CE质量认证
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