CVD管式炉-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品介绍：
此款大口径CVD管式炉是一种具有60mm直径石英管，真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的可拆分管式炉。它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。

产品用途：
广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验，也可用于：真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。

产品参数：

型号	KJ-T1200-CVD-D
显示	液晶显示屏
第一部分
炉膛	分体式和上部可以打开
最高工作温度	1100°C
加热速率	建议：0〜10℃/ min（最高20℃/ min）
加热温区	500mm
加热元件	钼电阻丝
温度控制精度	±1℃
炉管尺寸	外径200mm X长度1200mm
供电电源	三相380V，50HZ
功率	20KW （功率以实际设计为准）
温度控制器	30段高精度数字可编程温度控制器
第二部分混气系统七星华创
量程 MFC1 H2 0-200sccm 氢气 MFC2 NH3 0-200sccm 氨气 (D07-26C 即可，但是需要特殊要求耐氨的) MFC3 SiH4 0-200sccm 硅烷（CS200A 硅烷专用流量计）	LCD触摸屏
第三部分电阻硅真空计
第四部分射频电源
更多规格可根据需求定制

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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