1200度CVD设备-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品介绍：
KJ-T1200 CVD是一种管式炉，配备100mm直径石英管、真空泵和五通道质量流量计气体流动系统。它可以混合1-5种气体用于CVD或扩散。

技术参数：

产品名称		1200度CVD设备
型号		KJ-T1200
第一部分：标准件
Tube Furnace	显示	7”液晶触摸屏
	最高温度	1200℃
	工作温度	≤1100℃
	升温速率	0~10℃/min
	温区长度	440mm
	加热元件	钼电阻丝
	热电偶	K型
	温度控制精度	±1℃
	炉管	100 x 1000mm (OD x minimum L)
	炉管	材质：石英管
	温度控制	通过可控硅功率控制进行PID自动控制
	加热曲线	30 步可编程
	真空法兰	不锈钢真空法兰。法兰的一端有 1 个带刺针阀，安装有机械压力表。法兰的另一端有一个带倒钩针阀的 KF25 端口
	功率	220V, 50 Hz, 最大单相. 4KW
真空泵	旋片真空泵	极限真空 10-3 托。管内的真空度约为 10-1 Torr。（RM温度和空管条件）流量：2L/S 旋片真空泵将被设计成带轮子的推车。带连接附件包括数字真空计
质量流量计带液晶触摸屏控制器	一个浮子流量计+五个精密质量流量计： MFC 精度为：±1.5% F.S. MFC 1 用于氮气：气体流量范围为 0~100 sccm 氢气用 MFC 2：气体流量范围 0~200 sccm MFC 3 for methan : 气体流量范围为 0~300 sccm 氩气用 MFC 4：气体流量范围 0~400 sccm 氧气用 MFC 5：气体流量范围 0~500 sccm 一个气体混合罐（仅适用于5 MFC）安装在底壳上，4个不锈钢针阀安装在底壳左侧，用于手动控制4种气体混合。

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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