立式高温CVD设备-郑州科佳电炉

详细介绍:

主要用途：
该定制高温CVD系统主要用于TaC、HfC等物料及其复合碳化物等超高熔点涂层化学气相沉积制备工艺研究。

产品简介：
该系统以有高温沉积室、升华室、供气系统及真空系统组成。采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，智能控温无需要人看守。炉膛用氧化铝多晶纤维材料。炉管两端采用不锈钢法兰密封，密封法兰上安装有相关进气口及出气口。
技术参数：

产品名称	立式高温CVD设备
沉积炉
产品型号	KJ-T1500CVD-DZ
炉膛模式	开启式
炉膛材料	氧化铝耐火纤维
加热元件	U型硅钼棒
极限温度	1600℃高温区
工作温度	≤1500℃高温区
升温速率	≤10℃/min
加热温区	单温区、双温区、多温区
温区总长度	200、300、400mm
炉管材质	刚玉管
炉管直径	40、50、60、80、100mm
密封方式	定制不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 底部法兰有三个进气口方便进气底部法兰加支架方便工件放在沉积炉低温区
控制模式	每个温区单独 30段智能PID程序控温
温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件	B型双铂铑热电偶
供电电源	220V/380V 50HZ
供气系统集成在控制柜上
气体通道	可同时连接多种气源
流量计	浮子流量计
A路量程	1L/MIN
B路量程	1L/MIN
C路量程	1L/MIN
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	1/4不锈钢管
气化炉A、B
最高温度	700
工作温度	500
炉膛尺寸	定制
开门方式	侧开
进气口	一个进气口
出气口	一个出气口
售后服务	12个月质保（易耗件及人为损坏除外），终身保修
更多规格可以按照要求来定制

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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