三温区三通道混气CVD系统-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品介绍：
KJ-T1200-S60K3-3Z型CVD系统由KJ-T1200管式炉+真空系统+供气系统组成，最高温度可以达到1200度,三温区控制，极限真空可以达到10Pa，供气系统采用精准的数显三路质量流量计，混气路数3路相混合。
主要用途：该系统广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验，也可用于：真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。

技术参数：

高温炉壳体	采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃，内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度
功率	6 KW
电压	AC 208-240V 单相, 50/60 Hz
加热元件	合金电阻丝
最高温度	1200℃
连续工作温度	1100℃
升温速率	最快20℃/min 建议10℃/min
炉管材质和尺寸	石英管: OD: 60mm x Length: 1000 mm
加热区长度	三温区：220+220+220 mm
控温系统	PID30段程序化控温
控温精度	+/- 1 ℃
真空密封系统	两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀）
真空系统	1.VRD-8旋片泵抽速2.2L/S 2.极限真空度：10Pa（包含KF25接口、高真空挡板阀和可移动箱体） 3.数显真空计，实时显示真空度，真空显示范围：1×105--1×10-1pa
混气系统	三路精密质量流量计：数字显示、气体流量自动控制。 MFC1 范围: 0~500 sccm（可选） MFC2 范围: 0~500 sccm（可选） MFC3 范围: 0~500 sccm（可选）气路:3路流量精度: 0.2% 进气和出气接口: 1/4" 卡套每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。
售后服务	质保一年，终身保修（易损件除外）

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

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