1200℃管式PECVD系统
型号:KJ-TPECVD1100-S80CK3
简要描述: KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统主要用于金属粉末镀膜中，可以旋转倾斜。……
详细介绍:
产品介绍：
KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系统是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜, 该系统主要用于金属粉末镀膜中，可以旋转倾斜。KJ-TPECVD1100-S80CK3管式PECVD系统属于PECVD系列的一种。518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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1200℃管式PECVD系统实拍图518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉产品优势：
1、气密性好518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1200℃管式PECVD系统炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好，磁流体密封，保证旋转过程中还能抽真空518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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2、温场均衡518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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3、可旋转、倾斜518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
1200℃管式PECVD系统主要采用J-T1200旋转管式炉，可倾斜可旋转，可360度旋转，转速0-15转（速度可调）；倾斜角0-15°（倾斜角可调）方便进出料，并且路管内设置有扬料板，使材料在炉膛内均匀受热518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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4、温控保护518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
具有超温和断偶保护功能518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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产品参数：
| 产品名称 |
管式PECVD等离子气相沉积系统(CE认证) |
| 旋转管式炉部分 |
| 产品型号 |
KJ-T1200 |
| 加热区长度 |
660mm（220+220+220mm三温区） |
| 恒温区长度 |
400mm |
| 炉管材质 |
高纯石英管（变径管） |
| 炉管尺寸 |
变径管518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
两端尺寸OD:80mm* 400mm518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
中间尺寸OD:150mm* 400mm518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
总长1200mm 炉管中间部分焊接扬料板 |
| 工作温度 |
≦1100℃ |
| 最高温度 |
1200℃ |
| 测温元件 |
3支K型热电偶分别控温 |
| 温控系统 |
7寸触屏显示，16段可储藏曲线，30段PID微电脑可编程自动控制，能储存和拷贝数据 |
| 保温温控精度 |
±1℃ |
| 温控保护 |
具有超温和断偶保护功能 |
| 升温速率 |
0-20ºC/min |
| 加热元件 |
合金电阻丝 |
| 工作电压 |
AC220V 单相50HZ |
| 额定功率 |
5KW（以实际功率为准） |
| 炉膛材料 |
采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡 |
| 密封系统 |
该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好 |
| 法 兰 |
水冷密封法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀，方便拆卸，放取材料 |
| 倾斜结构 |
可倾斜倾斜角0-15°（倾斜角可调）方便进出料 |
| 旋转结构 |
可 360 度旋转，518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
转速0-15转（速度可调）518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
材料在炉膛内均匀受热 |
| 炉壳温度 |
≤45℃ |
| 真空系统部分 |
| 名称 |
分子泵组：518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
旋片泵DRV16+分子泵FF-160/620 |
| 主要参数 |
极限真空度6.7*10-3Pa（包含KF25接口、真空挡板阀和可移动箱体） |
| 真空显示 |
电容隔膜真空规，耐腐蚀，实时显示真空度 |
| 真空显示量程 |
其测量范围为1×105--1×10-5pa |
| 旋转密封 |
磁流体密封，保证旋转过程中还能抽真空 |
| 气路系统部分 |
| 名称 |
三路质量流量计 |
| 气路 |
三路 |
| 流量控制 |
液晶触摸屏控制，数字显示，每路气体含有针阀单独控制，气体流量自动控制 |
| 进出气口 |
三进一出，内置精密混气罐 |
| 链接方式 |
双卡套接头 |
| 流量范围 |
MFC1-MFC3：0-10SLM（量程可选） |
| 控制精度 |
±1.5%F.S左右，量程不同，略有差别 |
| 工作环境温度 |
5℃-45℃ |
| 等离子射频器部分 |
| 名称 |
射频自动匹配器 |
| 工作频率 |
13.56MHZ+0.005% |
| 正常工作反射功率 |
＜3W |
| 匹配时间 |
＜3S |
| 传输效率 |
＞90% |
| 使用稳定性 |
±1%F.S |
| 匹配器电源 |
AC220V/50-60HZ |
| 输入连接器/输出连接器 |
N型/UHF |
| 控制模式 |
手动/自动 |
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1200℃管式PECVD系统实拍图518管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。
- 公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
- 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
- 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
- 公司产品获有欧盟CE质量认证
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