可旋转化学气相沉积-旋转镀膜-磁流体密封-可抽真空可通气体-郑州科佳电炉

详细介绍:

产品介绍：

PECVD旋转管式炉系统适用于粉体材料的表面薄膜沉积。系统由高功率射频电源（500W，13.56MHz）、真空系统、旋转管式炉组成。利用等离子体特性来控制或影响气相反应和材料表面的化学反应过程，并在适当的温度下沉积薄膜。PECVD淀积的薄膜具有良好的电学性能、良好的衬底附着性以及不错的台阶覆盖性，正由于这些优点使其在大规模集成电路、光电器件、MEMS等领域具有广泛的应用。属于PECVD设备的一种。

PECVD旋转管式炉实拍图

产品优势：

1、PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等；
2、PECVD工艺中由于等离子体中高速运动的电子撞击到中性的反应气体分子，就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应；
3、借助射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜；
4、真空系统由旋片真空和数显真空计组成，冷态极限真空度可达10Pa；
5、采用快接法兰密封，装卸方便快捷；
6、加热区域采用单温区，加热区200mm，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高。
7、炉管采用定制变径炉管，管壁内带有石英拨料台，让物料受热更充分。炉管360℃旋转，旋转速度可调。
8、温控系统采用PID智能化程序控温，可以设置多段升降温程序。
9、法兰上带有进出气旋转接头，可以通入氮气、氩气等惰性保护气体，可在气氛环境下使用。
10、安全防护，具有超温保护功能，当温度超过允许设定值后，自动报警保护功能，操作安全可靠。
13、我司具有自行研发设计生产加工的能力，我们的机器提供终身配件更换和升级服务。

PECVD旋转管式炉实拍图

产品参数：

产品名称	PE旋转管式炉
产品型号	KJ-TX1100-S50LK1
炉膛材料	炉膛采用氧化铝多晶纤维
炉管尺寸	两端直径约Φ30mm，中间尺寸Φ50mm 总长约1200mm
加热区	200mm
炉管材质	石英炉管
工作温度	≤1000℃
最高温度	1100℃
加热元件	合金加热丝
控温精度	±1℃
加热速率	0-20℃/min，建议10℃/min，可根据实验工艺进行调节
温度测试元件	K型热电偶
控温系统	采用智能化多段PID可编程控制温度控制系统采用人工智能调节技术，具有 PID 调节、自整定功能并可编制多段升降温程序； 1、采用PID 方式调节控温，可设置多段升降温程序 2、控温精度±1ºC 3、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断 4、仪表具有温度自整定的功能
密封方式	采用磁流体和真空法兰的密封方式，密封效果更好
旋转速率	15rpm/min 可调
旋转结构	旋转方式，炉管可以360℃旋转，炉体可倾斜
工作电压	AC 220v 50Hz
加热功率	2KW
真空系统	1、采用DRV-10旋片真空泵,冷态极限真空度可达10Pa，真空泵含粉尘过滤器 2、KF快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连； 3、数显真空计显示
等离子电源系统	功率范围 0-500W（连续可调）工作频率 13.56MHZ+0.005% 工作模式连续输出射频输出阻抗接口 N-type,female（50Ω）功率稳定度 ≤2W 最大反射功率 70W 电源保护设置 DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护供电电压/频率单相交流（187V-253V）50-60HZ 冷却方式风冷
提供相关配件	坩埚钩、高温手套、热电偶、定制炉塞、说明书、保修卡等终身保修
售后服务	12个月质保、终身保修（加热元件、炉管等随机赠送配件不属于质保范围）

PECVD等离子射频

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
公司产品获有欧盟CE质量认证

免责声明：本站产品的介绍内容（包括产品图片、产品介绍、技术参数等）主要用于产品宣传，仅供参考。由于产品更新速度快，部分技术参数等内容可能会与实物有所偏差，请勿复制或者截图。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息及更多参数，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，请勿将此参数用于招标文件或者合同，我们公司会不定期完善和更新网站信息，恕不另行通知，请您谅解。

上一篇:1200℃管式PECVD系统下一篇:返回列表

您的姓名：
联系方式：
产品名称：
公司名称：
参数要求：

PECVD旋转管式炉

以诚信广交天下朋友，以品质赢取市场！

旋转PECVD设备

混气管式PECVD系统

六通道高真空PECVD系统

滑道式PECVD系统

热门产品

在线留言

真空钎焊炉

真空烧结炉

真空热处理炉

工业型真空炉

旋转管式炉

多温区管式炉

大管径管式炉

立式管式炉

RTP快速退火炉

多工位/滑道管式炉

常规管式炉

(300-1200℃)气氛炉

(1300-1400℃)气氛炉

(1500-1800℃)气氛炉

(300-1200℃)箱式炉

(1300-1400℃)箱式炉

(1500-1800℃)箱式炉

CVD

PECVD