3温区管式CVD系统
型号:KJ-TCVD1600-L80LB3
简要描述: 3温区管式CVD系统是一个CE认证的三温区管式炉CVD系统。炉管直径为80mm。真空泵采用双旋转机械泵,气体混合系统为4路质量气体混合系统。……
详细介绍:
产品介绍:
KJ-TCVD1600-L80LB3是一个CE认证的三温区管式炉CVD系统。炉管直径为80mm。真空泵采用双旋转机械泵,气体混合系统为4路质量气体混合系统。该炉工作温度可达1600℃,真空度可达10pa。属于CVD系统的一种。VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3温区管式CVD系统实拍图VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉产品优势:
1、发热元件采用优良MoSi2,炉膛采用陶瓷纤维材料,保温性能好,经久耐用,抗拉强度高,无杂志,纯度高,节能效果明显。VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
2、超温报警及断电、漏电保护,运行安全可靠。VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3、独立温控器,30级可编程温度。VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉产品参数:
加热系统(管式炉) |
最高温度 |
1700 ℃ |
工作温度 |
1600℃ |
显示 |
LED显示屏 |
管径 |
80mm(外径) |
管材 |
优质铝管 |
热区长度 |
220+220+220mm(每个热区之间会有间隙) |
加热元件 |
MoSi2 |
加热速率 |
0-5℃/min |
温度控制VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 |
● PID自动通过SCR(可控硅整流器)控制功率,相位角触发,限流电阻器。VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 ● 30个可编程段,用于控制加热速率、冷却速率和停留时间。VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 ● 内置PID自动调节功能,具有过热和热电偶损坏保护功能。VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 ● 超温保护和报警,允许在无人值守的情况下操作。 |
热电偶 |
- 3个热电偶(测量和温度控制功能),位于每个热区的中间(管道外侧)
- 1个热电偶(仅测量温度),位于管内。
|
温控精度 |
±1℃ |
炉膛结构 |
- 双层钢制外壳,带双冷却风扇,炉壳温度低于60℃。
- 一体式不可打开炉门。
|
真空法兰 |
带阀门的不锈钢真空法兰 |
工作电压 |
220V 50Hz |
最大功率 |
6KW |
供气系统 |
4通道质子流量计: |
MFC 1:气体流量范围为0~100sccmVMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 MFC 2:控制范围为0~200 sccmVMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 MFC3:控制范围为0-500sccmVMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 MFC4:控制范围为0~200 sccmVMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 一个气体混合罐安装在底部壳体上,带有液体释放阀VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉 底壳左侧安装4个不锈钢针阀,控制4种气体混合 |
真空泵+真空计系统 |
真空泵+真空计 |
配备旋转叶片泵,使真空度达到10Pa(冷却状态) |
VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
3温区管式CVD系统实拍图VMe管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
可选配置:该炉可配通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
注意事项:
1、设备炉膛温度≥200℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;
2、设备使用时,炉管内压力不得超过0.02MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;
3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;
4、在对样品加热时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,绝对压力表读数不要大于0.02MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。
- 公司对所供设备提供质保一年保修服务(易损件除外),保修期满后,仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
- 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训,可提供技术人员上门服务
- 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试,为客户提供放心可靠的产品
- 公司产品获有欧盟CE质量认证
免责声明: 本站产品的介绍内容(包括产品图片、产品介绍、技术参数等)主要用于产品宣传,仅供参考。由于产品更新速度快,部分技术参数等内容可能会与实物有所偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,我们公司会不定期完善和更新网站信息,恕不另行通知,请您谅解。

在线留言
留言获取报价单。一键提供设备报价、方案设计等服务,我们将第一时间给予回复!
联系我们
微信:
以诚信广交天下朋友,以品质赢取市场!
想要了解产品信息与最新价格,可以直接拨打科佳电炉客服中心7×24小时值班电话:
191-3809-6664