1200℃ CVD化学气相沉积镀膜系统
型号:KJ-TCVD1200-S80LK1
简要描述: 1200℃ CVD化学气相沉积镀膜系统工作温度为300℃至1200℃，配备真空泵，气体混合装置。采用了温度控制系统，高温精度，出色的气体流量精度，易于操作，有非常好的隔热效果和温度均匀性。……
详细介绍:
产品介绍：
1200℃ CVD化学气相沉积镀膜系统工作温度为300℃至1200℃，配备真空泵，气体混合装置。采用了温度控制系统，高温精度，出色的气体流量精度，易于操作，有非常好的隔热效果和温度均匀性。更多CVD设备可点击更多查看。wGc管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
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1200℃ CVD化学气相沉积镀膜系统适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。主要用于大学，研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。wGc管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉
wGc管式炉|箱式炉|气氛炉|真空炉|真空烧结炉|真空钎焊炉-郑州科佳电炉产品参数：
| 产品名称 |
化学气相沉积系统 |
| 产品型号 |
KJ-TCVD1200-S80LK1 |
| 管式炉部分 |
| 炉膛模式 |
开启式 |
| 显示模式 |
LED |
| 炉膛材料 |
氧化铝耐火纤维 |
| 加热元件 |
合金加热丝 |
| 极限温度 |
1200℃ |
| 工作温度 |
≤1100℃ |
| 升温速率 |
0-10℃/min |
| 加热温区 |
单温区 |
| 温区长度 |
440mm(可根据客户需求定制) |
| 炉管材质 |
高纯石英 |
| 炉管长度约 |
1000mm(可根据客户需求定制) |
| 密封方式 |
可重复拆装的不锈钢密封法兰。拆装方便，密封性好 |
| 控制模式 |
智能PID控制，具有多段可编程控温和自整定功能 |
| 温度曲线 |
多段"时间—温度曲线"任意可设 |
| 报警 |
有超温和断偶报警 |
| 测温元件 |
N型热电偶 |
| 供气系统 |
| 流 量 计 |
三路质量流量计（量程可根据需要选择） |
| A路量程 氮气 |
0～1000SCCM |
| B路量程 甲烷 |
0～500SCCM |
| C路量程 乙烯 |
0～1000SCCM |
| 混气 |
内含一个精密混气罐 |
| 工作环境温度 |
5℃-45℃ |
| 真空系统(含不锈钢波纹管和相关连接配件) |
| 真空泵抽速 |
2L/S抽速的机械旋片泵、波纹管及相关连接件，极限真空可实现10pa |
| 数显真空计 |
数显电阻真空计集成在可移动供气系统箱体上 |
| 配用规管 |
电阻规 |
| 测量范围 |
1.0×105—1.0×10-1 (Pa) |
| 测量精度 |
±10% |
| 零点漂移 |
±2% |
| 测量路数 |
1路 |
| 显示路数 |
1个窗口 |
| 显示方式 |
五位LED数字显示，采用科学计数法，例：1.2E－1，表示为1.2×10-1Pa |
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可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。
- 公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），保修期满后，仍提供终身的、优质的咨询、维修服务
- 公司提供免费的设备操作培训和简单故障排除维修培训，可提供技术人员上门服务
- 每台炉子出厂前均经过严格的质量检测以及高温测试，为客户提供放心可靠的产品
- 公司产品获有欧盟CE质量认证
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